Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 1600 #9364083 à vendre en France

Le réacteur AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600 est une gravure à plasma, un dépôt et un recuit utilisés dans le traitement des matériaux. Grâce à ses capacités de pointe en nanotechnologie, ce réacteur est utilisé pour des projets de R-D impliquant le dépôt et la gravure de couches minces. AKT 1600 utilise une source de plasma à couplage inductif (ICP) qui génère des températures élevées, des ions énergétiques et d'autres espèces qui peuvent être utilisées pour graver une grande variété de matériaux. Cette source ICP est alimentée par une alimentation RF haute fréquence, qui peut être ajustée pour régler la puissance délivrée au plasma. AMAT AKT1600 est capable de travailler avec des températures élevées, allant de 75 à 1 200 degrés Celsius. MATÉRIAUX APPLIQUÉS 1600 est un réacteur à double chambre, configuré horizontalement avec une chambre de verrouillage de charge. La chambre de serrure sert à transporter des porte-plaquettes entre les deux chambres sans exposer la chambre ou l'appareil à une contamination extérieure. Cela empêche tout air ou autres contaminants d'entrer dans la chambre de traitement. AMAT 1600 est capable de déposer une variété de films tels que métaux, polymères et diélectriques. Ceci est obtenu par un système d'injection de gaz qui amène du gaz dans l'unité, en combinaison avec la puissance de source de la machine ICP, qui peut modifier la densité du matériau déposé. Un élément chauffant avancé produisant une ligne de visée dirigée (DLOS) permet le recuit de films déposés ou d'autres matériaux dans la chambre et peut être réglé pendant des temps compris entre cinq minutes et plusieurs heures. 1600 est capable de contrôler les cadences et la composition des procédés en temps réel, ce qui leur permet d'être précis. Cette précision, combinée aux éléments chauffants avancés, permet une bonne répétabilité et fiabilité du processus. L'outil est également équipé d'une grande variété de capacités diagnostiques, telles que l'imagerie par caméra et l'imagerie infrarouge. Dans l'ensemble, le réacteur AMAT/AKT AKT1600 est un outil de pointe utilisé pour le traitement des matériaux. Il est capable de produire des résultats précis de gravure, de dépôt et de recuit grâce à ses capacités de chauffage du PIC et du DLOS. Ces caractéristiques lui permettent de produire des structures robustes avec des résultats reproductibles, garantissant la qualité et la fiabilité de ses produits finis.