Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380503 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500 est un réacteur multi-chambre de gravure à plasma conçu pour permettre la gravure précise de dispositifs dans un large éventail d'applications. Avec une gamme de chambres de procédé allant de 10 "à 20", il est possible de graver des dispositifs jusqu'à une taille maximale de chambre de 19 ". Il fournit à la fois des capacités de gravure de plasma réactif et de gravure sèche dans le même réacteur. Le réacteur AKT 3500 utilise divers gaz de procédé selon l'application de la gravure, notamment le chlore, le brome, le fluor, l'argon, l'azote, l'oxygène, le silane et l'hexafluorure de soufre. Il utilise également des alimentations en courant continu (DC) pour générer le plasma et divers champs magnétiques, et des sources de plasma couplées inductivement pour fournir l'entrée d'énergie requise. Le plasma est utilisé pour éliminer des couches indésirables de matériaux ou pour graver plus profondément dans le matériau d'un dispositif. Selon l'application graver à l'eau forte, AMAT AKT-3500 peut être utilisé avec les organisations de réacteur différentes en incluant le 45 tours, les chambres triples et quadruples. Le procédé de gravure à chambre unique fait appel à une seule source distincte du gaz de procédé requis, tandis que les chambres triple et quad peuvent utiliser simultanément plusieurs sources de gaz. Chaque chambre de MATÉRIAUX APPLIQUÉS 3500 est également équipée de multiples conduites électrostatiques et statiques de prélèvement de gaz, pour assurer une gravure uniforme et uniforme du dispositif. Le réacteur AKT AKT-3500 est également équipé d'une gamme de dispositifs de sécurité, y compris des systèmes d'extinction d'incendie et de gaz, ainsi que des filtres d'urgence et des systèmes d'évacuation. De plus, le système comprend une régulation de la température et un système de surveillance active, pour s'assurer que le processus fonctionne toujours dans les paramètres souhaités. AKT-3500 fournit des résultats de gravure fiables et efficaces pour une variété d'exigences d'application. Il peut être utilisé pour la gravure précise sur les dispositifs de moyenne et grande surface, ainsi que pour la gravure profonde sur les dispositifs de petite surface. Avec des composants qui aident à la gravure uniforme, ce réacteur offre une évolutivité pour répondre aux exigences de diverses industries.