Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380507 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500 Le réacteur est un réacteur à plasma à résonance cyclotron à haute concentration magnétique, utilisé pour le dépôt fiable, efficace et précis de couches et de revêtements sur une large gamme de substrats. Le réacteur peut réaliser une gravure plasma uniforme dans une gamme de géométries de chambre, avec une flexibilité paramétrique permettant une optimisation optimale du procédé. La capacité de caractérisation du plasma in situ fournie par le réacteur AKT 3500 offre une capacité de contrôle de rétroaction puissante pour l'optimisation du procédé et un dépôt uniforme constant sur la surface. Le réacteur AMAT AKT-3500 est capable de produire des plasmas haute densité et très énergétiques qui peuvent être utilisés pour une large gamme d'applications de dépôt, y compris des revêtements de carbone diamant (DLC), des couches diélectriques, des empilements multicouches et des couches larges d'oxyde à bande passante. Le réacteur dispose d'un robot-alimentateur C-V piloté par plc qui est capable de contrôler et de surveiller tous les paramètres du procédé, tels que la puissance du chauffage, les débits de gaz et les débits de dépôt, afin d'assurer la fiabilité et l'uniformité du dépôt. Les plasmas haute densité et la vitesse de dépôt uniforme sont rendus possibles par l'utilisation de systèmes à double champ magnétique combinés à un équipement de chauffage électronique. Les systèmes à double champ magnétique des matériaux appliqués 3500 Réacteur est situé à l'intérieur d'une chambre qui est refroidie par un système de refroidissement à boucle fermée d'hélium pour maintenir un environnement de travail stable. Le champ magnétique est généré par deux inducteurs planaires enroulés en hélice qui forment une zone ECR. Cette zone ECR permet une large dynamique dans les conditions de température des électrons qui sont très propices à la production efficace d'un plasma énergétique de haute densité. L'unité de chauffage électronique du réacteur 3500 est une machine à guide d'ondes hyperfréquence qui est reliée à la zone ECR. Les micro-ondes sont générées par le sous-système RF et positionnées stratégiquement à l'intérieur de la chambre, ce qui permet une densité d'énergie maximale pour une production de plasma très efficace. Les autres systèmes de traitement, comme l'outil d'alimentation en gaz, sont conçus pour assurer un processus continu et cohérent pendant toute la durée du processus de dépôt. AKT-3500 Réacteur est un actif de dépôt fiable, efficace et précis qui est capable de produire une large gamme de couches et de revêtements de haute qualité. Le réacteur présente une caractérisation plasma in situ pour un contrôle puissant de la rétroaction et un modèle de refroidissement en boucle fermée pour un environnement de dépôt stable de façon constante. Avec sa flexibilité paramétrique et ses solutions avancées de contrôle des procédés, AKT AKT-3500 Reactor offre le plus haut niveau d'optimisation des procédés et de dépôt uniforme pour toute application de dépôt.