Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380513 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500 est un équipement de gravure plasma/procédé propre hautement performant conçu pour les processus de gravure et de nettoyage dans l'industrie de la microélectronique. Le système utilise un module de contrôle plasma avancé pour fournir un contrôle précis du processus de gravure ionique réactive (RIE), d'où une uniformité et une répétabilité supérieures du processus de gravure. L'unité est composée de plusieurs sous-composants, dont un générateur de plasma, un sas automatisé, un régulateur de pression/débit réglable, un chauffe-plaques pour chauffer des plaquettes, des sources RF et DC intégrées, et une chambre à vide avec pompage différentiel. Le générateur de plasma dans la machine utilise un ensemble d'éléments de pompage pour créer une chambre à vide diélectrique stable à des pressions allant jusqu'à 0,2 torr, et est capable de produire à la fois des états plasma-on et plasma-off pendant le processus de gravure. Le générateur de plasma est également capable de fournir une large gamme de composition de film, de pression de chambre et de température. L'outil comprend une serrure automatique pour le chargement et le déchargement efficaces des plaquettes, le contrôle automatique de la pression et de la température de la chambre pour des processus de gravure cohérents. Le régulateur de pression/débit permet un contrôle précis des zones de la chambre à plasma et l'acheminement à la fois du gaz de matière première et du gaz de gravure ultra-pur dans la chambre. Cela permet d'assurer une répartition uniforme des espèces actives produites par plasma tout au long du processus de gravure, ce qui donne des résultats de gravure supérieurs. L'actif comprend également un chauffe-plateau pour chauffer les plaquettes afin d'assurer des résultats de gravure uniformes, et une source RF intégrée pour un contrôle uniforme du taux de gravure. AKT 3500 est conçu pour fournir des procédés de gravure cohérents, fiables et répétables pour l'industrie de la microélectronique. Sa suite intégrée de composants permet un contrôle précis du processus réactif de gravure ionique, offrant une homogénéité et une répétabilité supérieures. Avec la capacité du modèle de livrer un large éventail de composition de film, pression de chambre, température et livraison du gaz, AMAT AKT-3500 fournit une solution efficace pour gravent à l'eau forte et les processus se nettoyant dans l'industrie de microélectronique.