Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380517 à vendre en France

ID: 9380517
PECVD System.
AKT, Inc. (AMAT) AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500 reactor est un équipement polyvalent de gravure et de dépôt de plasma utilisé pour divers procédés de fabrication de semi-conducteurs. Cet outil est généralement utilisé pour la gravure ionique réactive (RIE), le broyage ionique et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Ce système est une chambre à vide haute qui fournit une section transversale et un volume de travail d'environ 25 cm cube, et fonctionne sous un vide d'environ 10-7 Torr. L'ensemble est piloté par ordinateur et contient divers paramètres de processus tels que la pression, la température, le flux de molécules, le temps, l'énergie ionique, la température des électrons et les espèces gazeuses. Afin d'obtenir des résultats de haute qualité, le réacteur AKT 3500 utilise des matériaux d'isolation avancés tels que l'alumine et l'acier inoxydable pour prévenir la contamination de l'environnement et assurer un contrôle et une réponse répétables. La chambre comporte également une antenne de forte puissance qui est utilisée pour générer un faisceau de plasma de forte puissance. Cette antenne est commandée par la machine pour permettre une gravure plasma précise et un dépôt pointu de matériaux sur la plaquette semi-conductrice. De plus, le réacteur peut fournir une plage de température allant de -25 ° C à 250 ° C Son outil avancé de chauffage au gaz permet d'assurer un traitement rapide et précis. En outre, AMAT AKT-3500 offre divers types de dépôts, y compris le dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD), la pulvérisation, l'évaporation et le dépôt chimique en phase vapeur renforcée par plasma (PECVD). L'actif est entièrement intégré avec un modèle automatique de cassette à cassette, qui peut être utilisé en continu sans transfert manuel. Cette fonction peut simplifier le processus de chargement et de déchargement et aider à améliorer l'efficacité de la production. La polyvalence et la précision impressionnantes de 3500 le rendent particulièrement adapté à une utilisation dans la structure de ligne fine et la fabrication de dispositifs avancés. Il est largement utilisé dans le développement de circuits intégrés (IC) et constitue une solution rentable pour les fabricants de semi-conducteurs. En outre, l'équipement est conçu avec des normes de sécurité robustes et est livré avec plusieurs fonctionnalités telles que le contrôle de la température, capteur de pression, et système d'alarme. Au total, APPLIED MATERIALS 3500 fournit des résultats fiables et reproductibles, et est assez polyvalent pour la gravure et le dépôt d'une grande variété de matériaux.
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