Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380520 à vendre en France
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AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500 est un réacteur monobloc conçu spécialement pour la gravure de grandes structures gravées en milieu aqueux. Le réacteur est capable de réaliser des motifs complexes et des formes précises. AKT 3500 a été optimisé pour graver de petites et grandes structures gravées, ainsi que des applications de gravure uniformes à haut débit. Cela inclut des conceptions avec des caractéristiques photorésistantes positives et négatives et des structures micro-canalisées. Le design unique d'AMAT AKT-3500 permet des résultats de gravure robustes et reproductibles uniformes et cohérents. Il offre un grand contrôle sur la vitesse de gravure et la sélectivité, ainsi que la définition précise des caractéristiques et le contrôle de la profondeur. Le procédé dispose également d'une excellente définition du bord du masque et du contrôle de la température du substrat pendant le processus de gravure. Le réacteur utilise comme graveur une solution à base d'acide. Ceci peut aller d'une solution aqueuse de HCl dilué à une solution plus complexe. Le procédé de gravure est initié par application de la résine photosensible sur le substrat, qui est ensuite filée sur le plateau d'AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500. Celle-ci est ensuite exposée à une lumière ultra-violette de haute intensité pendant quelques secondes, permettant au photorésist d'adhérer au substrat. L'etchant est ensuite ajouté au plateau et la plaquette est filée dans cette solution pendant une durée déterminée. Pendant cette période, l'etchant réagit avec la photorésist en développant la topographie souhaitée sur le substrat. Une fois l'étape de procédé souhaitée terminée, le plateau est rincé à l'eau DI et le substrat est filé à sec. Après quoi, la résine photosensible séchée est éliminée et le substrat est inspecté pour connaître les résultats souhaités. Tout le processus est assez simple et peut être complété avec une intervention minimale de l'opérateur. Le réacteur AKT AKT-3500 est un excellent outil de gravure de différents substrats. Il fournit des temps de gravure précis et cohérents, permettant des résultats très précis avec une excellente répétabilité. La capacité de modifier la concentration de gravure et d'ajuster les paramètres du processus permet à l'utilisateur de graver différents matériaux dans différentes épaisseurs, ce qui en fait un outil polyvalent de gravure.
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