Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380521 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500 est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (LPCVD) monobloc conçu et fabriqué par AKT. Ce réacteur est utilisé pour déposer des couches minces multicouches d'oxydes de silicium, de nitrures et d'autres matériaux sur la surface d'une plaquette de silicium. L'équipement est composé de deux parties principales : un composant lignes/vannes de gaz et une chambre de traitement. La composante conduites/vannes de gaz comprend des capteurs, des vannes et des commandes critiques pour aider à gérer le flux de gaz de procédé dans le système. La chambre de procédé, en acier inoxydable, comprend deux sources à faisceau d'électrons avec contrôle de puissance indépendant, 1 source d'énergie RF, et contrôle de température pour l'ensemble de la chambre. AKT 3500 a une plage de température de la chambre de procédé de 120 ° C à 900 ° C et est capable de fonctionner à des pressions atmosphériques ou réduites. Il a une gamme de grandeur de gaufrette de jusqu'à 8 « dans le diamètre et sa charge de processus maximum est 7 livres. L'unité est plus loin conçue pour manipuler la déposition spécifique au-dessus et les courses à un maximum de 80 W/in2. Il dispose de différents protocoles de communication de données tels que Ethernet, RS-232 et RS-485 pour l'accès à distance. AMAT AKT-3500 possède une fonction de nettoyage plasma de haute précision qui aide à séparer et à transporter les particules volatiles afin de réduire la contamination induite par les processus. Il a été conçu pour suivre les règles JEDEC pour produire un processus de dépôt fiable et répétable pour des applications à haute performance telles que DRAM, Flash memory, et Logic. La machine est également équipée d'une vaste gamme de dispositifs de sécurité comprenant des emboîtements, des interruptions de panne au sol et des alarmes. Dans l'ensemble, APPLIED MATERIALS 3500 est un réacteur de pointe conçu pour produire des résultats précis et cohérents. Il a été rigoureusement testé et s'est avéré performant de manière optimale dans les environnements de production. Ses caractéristiques et son design moderne en font le choix idéal pour les applications nécessitant des résultats fiables et de haute qualité.