Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 60KO #9226836 à vendre en France
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ID: 9226836
Style Vintage: 2007
PECVD System
Gen 8.5
Maximum substrate size: 2200 mm x 2600 mm
(7) Process chambers with TSLL
Suitable for HIT/HJT cells application
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 60KO est un équipement spécialisé de dépôt sous vide/pulvérisation par pulvérisation réactive conçu pour la production de matériaux et de revêtements avancés pour les technologies semi-conductrices et microélectroniques. Ce système est conçu pour un contrôle précis des réactions de dépôt afin de produire des résultats de haute qualité, de haut rendement et reproductibles. AKT 60KO est une unité de dépôt PVD (dépôt physique en phase vapeur) à haute performance. La machine est constituée d'une source de dépôt de pulvérisateurs avec régulateurs de débit massique réglables pour contrôler avec précision les débits de gaz. Un outil de filtration des gaz de recirculation est également prévu pour assurer une alimentation en gaz propre. Cet actif comprend également un modèle réglable de suppression des turbulences sous vide, qui est un élément essentiel pour obtenir des dépôts de matériaux cibles de haute qualité et des impuretés à faible phase gazeuse. AMAT 60KO est conçu pour le dépôt d'une large gamme de matériaux, y compris le métal, la céramique et le carbone diamant. Il peut également être utilisé pour des pulvérisations thermiques réactives, permettant de déposer une large gamme de matériaux sur des substrats. Un équipement d'alimentation à source réglable est prévu pour un contrôle précis de la vitesse de dépôt. Ce système comprend également une source de gaz réactif optionnelle, qui sert à maintenir une chambre de dépôt propre pendant le processus de pulvérisation. La chambre de dépôt elle-même est conçue pour maintenir un niveau élevé de propreté de la chambre. L'intérieur est en acier inoxydable et doublé de carreaux de céramique durables. Une unité d'injection de gaz réglable permet un contrôle précis de l'écoulement des gaz réactifs ou non réactifs. La chambre peut également être équipée d'une machine de refroidissement in situ pour améliorer la qualité du film déposé. 60KO comprend également une interface logicielle avancée qui permet à l'utilisateur d'ajuster le processus de dépôt pour des besoins spécifiques. Il est également possible de programmer des recettes personnalisées pour les dépôts. Cet outil dispose également d'une capacité de détection automatique du point d'extrémité pour une surveillance aisée du processus de dépôt. Dans l'ensemble, APPLIED MATERIALS 60KO est un actif PVD/pulvérisation haute performance conçu pour la production de matériaux et de revêtements avancés pour les technologies semi-conductrices et microélectroniques. Il dispose d'une gamme de fonctionnalités permettant un contrôle précis du processus de dépôt, un modèle réglable de suppression des turbulences sous vide, ainsi qu'une interface utilisateur avancée. L'équipement est conçu pour fournir des résultats reproductibles de haute qualité avec des impuretés exceptionnellement faibles en phase gazeuse.
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