Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 7710 #9095871 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 7710 est un type d'équipement de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la croissance de matériaux sur substrats. AMAT 7710 est un système CVD thermique monobloc conçu pour répondre aux besoins de dépôt les plus difficiles avec un contrôle précis et une répétabilité des paramètres du procédé. La qualité, l'uniformité et la répétabilité des films obtenus sont inégalées dans l'industrie. L'unité dispose d'une chambre de réacteur à quartz pouvant accueillir une seule plaquette de 4 "ou 8" et la méthode Czochralski peut contenir jusqu'à deux plaquettes de 8 ". MATÉRIAUX APPLIQUÉS La machine CVD 7710 offre un contrôle intégré du débit de fluide, avec deux conduites de gaz indépendantes, l'une pour le gaz porteur avec un régulateur de débit massique de précision, et l'autre pour les précurseurs dopants avec un régulateur de débit indépendant. L'outil est équipé de plusieurs paramètres de processus dont la température, la pression, les débits de réactifs, les radiomètres et HMDS pour le nettoyage, ainsi que de deux recettes prédéfinies pour l'utilisateur. La température de la chambre de procédé peut être réglée à des températures aussi basses que 50 ° C pour les besoins de dépôt à basse température et jusqu'à 950 ° C La chambre à quartz de 7710 offre une récupération thermique rapide et une large gamme de recettes de procédé. Un contrôle intégré de la température de la plaquette permet un contrôle serré des températures de surface de la plaquette et assure des films uniformes sur l'ensemble de la plaquette. L'actif peut également être programmé pour arrêter et reprendre le dépôt afin de réduire la non-uniformité ou la saturation lors de la croissance du film. De plus, la proximité du substrat avec les matériaux sources élimine la nécessité de systèmes plasma supplémentaires. Le modèle CVD dispose également d'un logiciel de contrôle des processus qui fournit la surveillance et le contrôle des processus en temps réel. AMAT/APPLIED MATERIALS 7710 est conçu pour la fiabilité et la maintenance est rendue facile avec la répétabilité des composants pour un remplacement rapide et facile. Les dispositifs de sécurité tels que les embouts de porte entièrement automatisés, les alarmes et les interrupteurs d'arrêt d'urgence assurent la sécurité de l'équipement. Le système est également extrêmement efficace avec un faible taux de consommation de gaz et la chambre à quartz capte les effets secondaires du gaz pour assurer un dépôt de haute qualité. AMAT 7710 est idéal pour la recherche et le développement et sa fiabilité, la qualité et la répétabilité en font un choix idéal pour fabriquer certains des dispositifs semi-conducteurs les plus précis et les plus sophistiqués.