Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 RP #69375 à vendre en France

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ID: 69375
Taille de la plaquette: 4"-6"
Epi Reactors, 4"-6".
AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 RP Réacteur est un équipement avancé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) utilisé pour déposer des couches minces de divers matériaux sur des substrats. Le réacteur est conçu pour faciliter la fabrication de couches minces de haute précision et de qualité avec un large répertoire de matériaux tels que métaux, carbures, fluorures, nitrures, oxydes et composés semi-conducteurs composites. La principale caractéristique d'AMAT 7810 RP Reactor est la facilité de fonctionnement et de maintenance. Il est livré avec une interface conviviale et un certain nombre de fonctionnalités automatisées qui simplifient les processus comme les étapes de recette, le contrôle de pression, le contrôle de température et le contrôle de débit massique. De plus, le système dispose d'une unité de nettoyage in situ des gaz qui minimise la contamination du substrat. MATÉRIAUX APPLIQUÉS 7810 RP Reactor offre une polyvalence exceptionnelle en raison de sa conception flexible de la chambre de processus. Il peut accueillir un large éventail de matériaux, y compris des nanomatériaux et des tailles de substrat de pouces à micromètres. De plus, sa conception modulaire permet d'améliorer le réacteur au cours d'un cycle de traitement individuel, ce qui le rend bien adapté aux améliorations continues du procédé et au prototypage rapide. Le réacteur dispose de deux chambres de réaction distinctes - une machine de traitement à chambre unique et un outil de traitement à chambre double. L'actif de procédé à chambre unique est conçu pour le dépôt monocouche, tandis que le modèle de procédé à chambre double est conçu pour le dépôt de structures multicouches. Dans les deux configurations, le réacteur comporte une grande chambre de verrouillage de charge, une chambre de verrouillage de charge basse pression et une chambre à vide. Le réacteur offre également un contrôle thermique de précision de la température ambiante à plus de 1000 ° C 7810 RP réacteur est équipé de haute sensibilité température, pression, et débitmètres, en plus d'un contrôleur PLC avancé pour le contrôle précis et automatisé des processus. L'équipement dispose également d'un logiciel de surveillance Endura avec des capacités complètes d'enregistrement des données et de déclaration qui permet aux utilisateurs de surveiller étroitement les processus en cours. De plus, la conception modulaire du réacteur offre des options d'extraction et de récupération de chaleur, permettant l'optimisation du procédé et des économies de coûts. En conclusion, AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 RP Reactor est un système de dépôt de couches minces fiable et convivial qui offre une large gamme de matériaux et de configurations de substrat. Ses systèmes de contrôle avancés et ses processus automatisés réduisent le besoin d'intervention des opérateurs, tandis que ses vastes capacités de surveillance permettent aux utilisateurs de suivre de près les processus en cours. L'unité offre également une flexibilité grâce à sa conception modulaire et ses options de récupération de chaleur, ce qui en fait un choix idéal pour la fabrication de couches minces de haute précision.
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