Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 7811 #9095878 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS 7811 est un four à vide multi-chambres à haute température conçu pour effectuer diverses opérations de traitement thermique à haute température pour la fabrication de semi-conducteurs. L'instrument est équipé avec plusieurs éléments chauffants pour produire des températures jusqu'à 1 400 °C qui peuvent être exactement régulés sur une gamme de ±2.5 °C par le contrôle informatique. Cet outil avancé est composé d'une chambre de réaction principale avec une chambre inférieure auxiliaire (l'outil de procédé) reliée par une porte mobile pour permettre l'accès aux plaquettes lors des opérations de transfert et de chargement du substrat. Les chambres réactionnelles sont maintenues sous atmosphère d'azote constante tandis que l'outil de procédé est typiquement rempli d'argon. Le four est également muni d'un équipement d'injection de gaz capable de fournir divers mélanges de gaz précurseurs à la chambre de procédé ; des procédés tels que le dépôt, l'oxydation, le recuit et l'encoche. AMAT 7811 comprend un système de chauffage avancé avec plusieurs éléments situés à l'intérieur et à l'extérieur de la chambre de réaction. Cette unité dispose d'une zone principale indépendante, ainsi que de préchauffeurs et post-chauffeurs réglables, donnant à l'instrument un total de trois zones de chauffage. Cela permet une gestion précise de la température et un chauffage uniforme des wafers et des procédés. L'outil est également équipé d'un viseur en quartz, qui permet une vue directe de l'avancement de la plaquette en permettant un accès visuel à la chambre de chauffage. L'instrument est équipé de multiples alarmes et dispositifs de sécurité pour assurer la sécurité de l'opérateur et de l'équipement. Parmi ces dispositifs de sécurité figurent un couvercle et un arrière-plan pour prévenir l'exposition accidentelle à des températures élevées. APPLIED MATERIALS 7811 comprend également deux pompes à vide indépendantes, permettant un traitement à grande et à petite échelle. 7811 est un outil très avancé pour les opérations de traitement thermique à haute température et fait partie intégrante de la plupart des procédés de fabrication de semi-conducteurs. Avec ses éléments chauffants en chambre et réglables, sa machine d'injection de gaz bien conçue, ses alarmes multiples et ses dispositifs de sécurité, et son outil de visualisation à quartz, l'instrument fournit des résultats fiables et reproductibles, ce qui en fait un excellent choix pour tout processus de fabrication de semi-conducteurs.
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