Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 8130 #9364855 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 8130 est un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur avancé, performant et rentable utilisé pour le traitement des NAND 3D et d'autres procédés de formation de circuits. En utilisant une orientation verticale, AMAT 8130 est capable de déposer des couches uniformément épaisses et régulées sur des substrats jusqu'à 200mm de diamètre. Avec la conception modulaire, outil-agnostique, APPLIED MATERIALS 8130 peut être utilisé pour une gamme de différents procédés de dépôt. 8130 est un réacteur monobloc conçu avec une conception mécanique avancée qui fournit des performances rapides et fiables. La conception mécanique permet un entretien rapide et facile, ainsi qu'une fenêtre de processus élargie. La grande station de chargement/déchargement multi-zones assure un contrôle serré de la température, du débit et de la pression pour assurer un dépôt uniforme. En outre, il existe quatre chambres de procédés indépendantes, chacune avec son propre élément chauffant capable de cuire jusqu'à 630 ° CI/250 ° C Les éléments chauffants indépendants permettent une homogénéité améliorée du procédé substrat et ont été testés pour maintenir une température uniforme ± 2 ° C En outre, AMAT/APPLIED MATERIALS 8130 est équipé d'un équipement avancé de contrôle du vide qui permet une gamme de pressions de processus et élimine efficacement les gaz réactifs. Le système se compose d'un régulateur de pression numérique, qui maintient la pression de procédé requise, et d'une pompe turbo-moléculaire qui fournit un vide rapide, fiable et stable, ce qui a pour effet d'améliorer la distribution des gaz réactifs et le contrôle du procédé. Une unité de mouvement intégrée, contrôlée par l'interface robotique du réacteur, automatise le chargement/déchargement des substrats et permet un transfert rapide et facile entre les quatre chambres réactionnelles. En outre, la machine de mouvement intégrée simplifie la maintenance et réduit les temps d'arrêt. L'outil permet également un contrôle précis du positionnement du substrat et de la température du procédé, permettant une meilleure uniformité du procédé. AMAT 8130 est un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur avancé, performant et économique conçu pour améliorer l'uniformité et la performance des procédés de dépôt. Avec sa conception modulaire, outil-agnostique, APPLIED MATERIALS 8130 peut être utilisé pour une variété de processus de formation de circuits utilisés dans la production de NAND 3D et d'autres circuits intégrés avancés. Son atout de mouvement intégré, ainsi que le régulateur de pression numérique et la pompe turbo-moléculaire, permettent au réacteur un meilleur contrôle du processus et un plus grand niveau de précision. Avec la capacité de cuire jusqu'à 630 ° C dans une atmosphère de ± 2 ° C, 8130 est bien adapté aux procédés de dépôt de haute précision.