Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT 1600A #293615967 à vendre en France

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ID: 293615967
Style Vintage: 1999
PECVD System Glass size: 370 x 470 mm 4 Channels TM-CH Regulator box Control panel Index Monitor table Pump rack Dry pump (L/L) Dry pump (T/M) Remote frame Scrubber Missing parts: Pump 4 Channels Susceptor4 Channels 1999 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600A est un réacteur de gravure verticale à sec innovant et très fiable. Il est utilisé pour réaliser des procédés de gravure sèche tels que la gravure par plasma, la cendre par plasma et la gravure par film de carbone pour une variété de matériaux semi-conducteurs dont le silicium (Si), l'arséniure de gallium (GaAs) et d'autres matériaux composés. Le réacteur est conçu pour effectuer une gravure à haut rapport d'aspect, avec une grande sélectivité et uniformité. AMAT/AKT 1600A offre une combinaison importante de fonctionnalités, y compris une large gamme de processus, une grande chambre de processus, un contrôle avancé du mouvement et de la vitesse, et des capacités de fixation supérieures. Le réacteur est équipé d'une gravure à haute résolution en temps de vol qui permet un contrôle précis du faisceau d'ions dans divers processus de gravure. La logique de contrôle numérique avancée et les configurations d'échappement multiples offrent un large éventail de processus couvrant la profondeur de gravure, la vitesse de gravure et les exigences de sélectivité. AMAT 1600A offre un degré exceptionnel de reproductibilité des processus et un faible coût de propriété. Un contrôleur programmable intégré, basé sur la dernière technologie Digital IGBT, assure un contrôle supérieur sur les paramètres du processus. Le réacteur est également équipé d'un moteur à pas Z et d'un Rotocage pour le contrôle de mouvement avancé. Le contrôleur de bord comprend une fonction de test en deux points pour la vérification de la vitesse de gravure, de la sélectivité et de l'uniformité. Le réacteur APPLIED MATERIALS/1600A offre des caractéristiques de conception, des performances et une rentabilité exceptionnelles. C'est un réacteur de gravure leader dans l'industrie pour le traitement de haute précision d'une variété de matériaux semi-conducteurs. Ses capacités supérieures de gravure, de reproductibilité et de sélectivité en font un choix idéal pour les tâches de gravure dans la fabrication de semi-conducteurs. Sa logique de contrôle numérique avancée et ses multiples configurations d'échappement le rendent idéal pour optimiser les processus de faisceau d'ions. En bref, APPLIED MATERIALS 1600A est un réacteur de pointe conçu pour offrir des performances de gravure supérieures, un rapport coût-efficacité et des capacités de traitement supérieures.
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