Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT 1600A #9196910 à vendre en France
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Vendu
ID: 9196910
Taille de la plaquette: 2"
Style Vintage: 1999
PECVD System, 2"
Glass size: 370 X 470 mm
TM Chamber
A/B/C/D Chambers
MFC Box
Regulator box
Main frame
Control panel
Index
Monitor table
Pump rack
Dry pump 1 (L/L)
Dry pump 2 (T/M)
Remote frame
Main scrubber
Missing parts:
(4) Chambers pump
Suspector (4) Chambers
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600A est un réacteur de recherche et développement haut de gamme conçu pour le dépôt par couche atomique (ALD) et le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD). Ce réacteur monobloc est capable de déposer de façon précise et contrôlée des films extrêmement minces de quelques nanomètres d'épaisseur seulement, ce qui le rend idéal pour la fabrication de dispositifs et la recherche en nanotechnologie. La chambre d'AKT 1600A mesure 200 mm de diamètre et est capable de manipuler des substrats avec une gamme de températures allant de 50 ° C à 800 ° C et des pressions de 0,5 à 200 mTorr. Il est également compatible avec une variété d'atmosphères et de flux, y compris l'azote, l'hexafluorure de soufre et l'argon/oxygène. Le réacteur est conçu pour une utilisation aisée et un étalonnage simple. Il a six positions de levage d'échantillons et peut également être utilisé pour recueillir des profils latéraux pour une analyse plus approfondie. Ces caractéristiques se combinent pour donner aux utilisateurs un contrôle précis des taux de dépôt et de l'uniformité. La source d'énergie sur AMAT 1600A est un générateur RF 2.75kW ; une source d'énergie très efficace pour leur gamme d'applications. Ce générateur fournit une large gamme de fréquences de fonctionnement allant de 1 kHz à 1 MHz. Il est équipé d'un logiciel de pointe qui permet aux utilisateurs d'ajuster des paramètres tels que la fréquence, la puissance et la polarisation. Le 1600AL offre également des fonctions avancées de régulation et de surveillance de la température, permettant aux utilisateurs de régler et de surveiller les températures à 0,2 ° C Ceci est idéal pour les applications qui nécessitent des températures très précises afin d'obtenir les résultats souhaités. Enfin, APPLIED MATERIALS 1600A est équipé d'un système de nettoyage automatisé afin de maintenir les plus hauts niveaux de propreté dans la chambre. Ce système permet de s'assurer que les performances du réacteur restent inchangées au fil du temps. Toutes ces caractéristiques font de 1600A l'un des réacteurs de recherche et développement les plus populaires et les plus fiables sur le marché aujourd'hui. Le réacteur est devenu le choix idéal pour de nombreuses applications avancées de recherche sur les matériaux et de fabrication de dispositifs.
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