Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT 4300 #9383296 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 4300 est un réacteur de gravure et de dépôt de plasma à chambre de procédé monobloc orientée horizontalement. Il est capable de réaliser des processus de gravure, de dépôt et de plasma haute densité (HDP) à haut débit, avec une excellente répétabilité et un excellent contrôle du procédé. AKT 4300 est un réacteur prêt à la production qui a la capacité de réaliser un large éventail d'applications de procédés, tels que les procédés de gravure et de dépôt en une ou plusieurs étapes. Il emploie une variété de gaz de procédé, dont l'hélium, l'azote, l'argon et les gaz à base de chlore. Un équipement avancé de contrôle des gaz assure un contrôle chimique du plasma précis et répétable dans toute la chambre de procédé. Le réacteur utilise des technologies de pointe de production, de surveillance et de contrôle du plasma. Le système de confinement par plasma magnétique permet une excellente uniformité de processus et de contrôle, tandis que l'unité avancée de contrôle du mouvement des plaquettes assure le transport et le traitement précis des plaquettes. La machine de contrôle de processus intégrée ajuste automatiquement les paramètres en fonction des conditions changeantes. Le réacteur utilise un procédé avancé de PECVD qui supporte le dopage au Si et au SiGe haut de gamme pour des applications sévères de gravure de plasma et de plasma haute densité (HDP). Il a également la capacité de fonctionner en parallèle, cartographiant RIE avec des applications d'isolation de tranchées peu profondes (STI). Le réacteur est équipé d'une source de plasma à couplage capacitif in situ (CCP) qui fournit d'excellentes performances de procédé. Le réacteur peut résister à de hautes températures et à une pression et est conçu à l'opération 24/7 dans les environnements de production de haut volume. Il peut accueillir des plaquettes jusqu'à 8 "de diamètre et les traiter jusqu'à 200 W/cm. Il intègre également des systèmes avancés de contrôle du vide et de la pression pour assurer un fonctionnement reproductible et sans problème. AMAT 4300 est un réacteur très polyvalent qui répond aux besoins de fabrication de dispositifs avancés. Sa capacité de gravure et de dépôt avec différentes chimies fournit une excellente capacité de processus, permettant aux utilisateurs de développer et d'affiner une grande variété de structures et de processus d'appareils. Grâce à sa conception sophistiquée et à son outil de contrôle de processus avancé, 4300 peut fournir un meilleur débit, répétabilité et contrôle de processus pour la fabrication de dispositifs avancés.