Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS AKT-55k #9237806 à vendre en France
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Vendu
ID: 9237806
PECVD System
Generation: 8.5
Dual single slot loadlock (Loading, cooling, unloading)
Transfer chamber
(3) Process chamber
Master cluster controller
Remote support system:
RF Generator
Pump
Abatement
Heat exchanger
Remote plasma
Substrate size: 2200 mm x 2600 mm
(3) Susceptor: Temperature<230°C
(2) Loadlock: DSSL
Vacuum robot: Dual arm
(3) RPSC: MKS
(3) Abatement
EDWARDS Pumps:
(7) iH1800
(3) iF30K
RF Generator:
(3) 13-14MHz (15kW)
(4) 40MHz (4kW)
(3) Gas panels: NF3, Ar, SiH4, H2, PH3, B2H6
Loader: Manual loader.
Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS AKT-55k est un réacteur de qualité industrielle conçu pour faciliter la synthèse de divers composés dans des environnements de réacteur contrôlés. Il s'agit d'un récipient étanche dans lequel divers conctants réactionnels sont mélangés et réagis pour former de nouveaux composés chimiques, et est capable de maintenir des températures jusqu'à 1000 ° C La chambre est constituée de plusieurs composants modularisés, dont une paroi extérieure froide, une chambre de réaction et des parties actives. La paroi extérieure froide est une coquille à double paroi en acier inoxydable qui sert d'enceinte non réactive pour l'ensemble de l'unité. A l'intérieur de la coquille extérieure se trouve la chambre de réaction, où se déroule le processus de réaction. La chambre est revêtue de réfractaires et conçue pour contenir jusqu'à 55 kilogrammes (kg) de matière. Les parties actives du réacteur sont constituées d'un équipement de traitement des gaz, d'un système de régulation de la température, d'une unité de régulation de la pression et d'une machine de transfert de fluide. L'outil de manutention du gaz utilise le gaz naturel comme source de combustible pour produire les températures requises, tandis que l'actif de régulation de la température optimise les températures pour satisfaire aux conditions de réaction souhaitées. De même, le modèle de régulation de pression gère les niveaux de pression à l'intérieur du réacteur, et l'équipement de transfert de fluide gère le matériau qui est introduit dans le réacteur. Le système est également équipé d'une série de dispositifs de sécurité pour assurer une performance et une sécurité optimales du personnel et de l'équipement. Un pare-flamme anti-explosion empêche les explosions de se produire à l'intérieur du navire. Une soupape de surpression est également incluse dans l'unité pour évacuer la surpression en cas de ruissellement de réaction. Une conduite d'alimentation en gaz inerte est également prévue pour empêcher les matières réactives de provoquer des réactions dangereuses. Le réacteur est idéal pour une gamme d'applications différentes, y compris la synthèse chimique, les opérations métallurgiques ou chimiques, le raffinage pétrochimique, et l'essai et la caractérisation de nouveaux matériaux. Ce dispositif à prix abordable offre des performances efficaces et contrôlées et peut être intégré dans une variété d'opérations industrielles.
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