Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811 #9390647 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7811 est un réacteur à plasma à haute performance et à usage général développé spécifiquement pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est capable de réaliser une variété de procédés, y compris la gravure, le dépôt et le nettoyage. Le 7811 a été conçu pour fournir des résultats de précision avec un temps et un coût d'installation minimes. Ce réacteur offre une plate-forme de machine unifiée pour le traitement continu des plaquettes qui convient à la fois aux laboratoires de développement avancé et aux environnements de production. Il a été conçu pour être à la fois robuste et flexible, ce qui lui permet d'être configuré pour une variété de tâches. Le réacteur présente un volume de chambre active de 4,6 m ^ 3, ce qui le rend capable de traiter de nombreuses plaquettes ou substrats en un seul lot. Il utilise également une conception d'électrodes RF à double fréquence pour obtenir des résultats de gravure optimisés et réduire la dérive du centre du plasma. Ceci crée une répartition uniforme du plasma à travers la chambre. Le 7811 intègre également un système avancé de distribution de gaz avec une technologie de commutation à très faible débit et des fonctions de réglage rapide. Cela permet une commutation instantanée entre les gaz et les réglages, ainsi qu'une plus grande flexibilité de traitement. Le réacteur est également équipé d'un système d'auto-étalonnage avancé qui permet un contrôle et une répétabilité précis du procédé. De plus, ce réacteur à plasma offre des capacités de maintenance supérieures. Il dispose d'une boîte à gaz primaire accessible à l'utilisateur final et d'un collecteur de gaz à haut débit à changement rapide. Il utilise également un système de coupure d'air pour un service sûr et efficace sur l'unité. Le réacteur à plasma AMAT AMC 7811 est une machine robuste et hautement capable adaptée à la fois aux processus complexes de R&D et aux applications de production. Il est conçu pour garantir des résultats de qualité supérieure dans une gamme de paramètres, même lorsque les exigences sont en constante évolution.
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