Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS AMS 2100 #9024606 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS AMS 2100 est un équipement avancé de réacteur à plasma pour la réalisation de circuits intégrés de haute qualité. Ce système utilise une combinaison de gaz, d'oxygène, d'hydrogène et d'azote, avec du plasma créé thermiquement pour déposer du matériau sur un substrat. La chambre d'AMAT AMS 2100 contient un générateur RF de forte puissance pour créer le plasma à haute énergie ainsi qu'un mandrin mécanique de plaquette pour maintenir le substrat pendant le traitement. L'unité dispose également d'une alimentation auxillaire pour contrôler la température de la plaquette de substrat lors du traitement. La conception de la machine offre une combinaison unique de capacité de gravure et de dépôt qui permet de former des dispositifs au coût le plus bas possible avec les rendements les plus élevés. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le procédé plasma AMS 2100 offre une excellente couverture d'étape dans le plus étroit des largeurs de ligne ainsi que des couches diélectriques de haute densité et une faible rugosité de surface. Ses caractéristiques de recuit à basse température garantissent une adhérence du matériau de la plus haute qualité et des performances de l'appareil supérieures. L'outil offre également un taux de dépôt élevé avec une excellente uniformité diélectrique et une meilleure couverture de fond. Le procédé peut être utilisé pour le dépôt de cuivre, de tungstène et de métallisation d'aluminium ainsi que de films diélectriques, isolants et polymères. AMS 2100 dispose d'une gamme de fonctions de contrôle permettant de contrôler le processus avec une grande précision, y compris la température, la pression et le débit. L'actif dispose d'une large gamme de capacités de recette de processus avec des paramètres définis par l'utilisateur qui peuvent être optimisés pour des applications spécifiques. Les fonctions de contrôle flexibles permettent d'ajuster les paramètres en temps réel pour obtenir des résultats optimaux, tandis que les fonctions avancées permettent d'optimiser automatiquement l'environnement de dépôt. La chambre refermable d'AMAT/APPLIED MATERIALS AMS 2100 simplifie l'échange des substrats et minimise les risques de contamination. Le modèle comprend également un chargement et un déchargement rapides de spécimens sans qu'une boîte à gants soit nécessaire, ce qui réduit au minimum le risque de contamination par les particules et de contamination de l'environnement. Le moniteur de processus est conçu pour surveiller la pression de la chambre, la température et les flux de gaz pendant les cycles de production afin d'assurer l'intégrité et la qualité du processus. En conclusion, AMAT AMS 2100 est un équipement de réacteur perfectionné et polyvalent qui peut être utilisé pour la production d'une grande variété de produits de circuits intégrés. Il offre un excellent contrôle des processus, des fonctionnalités d'optimisation automatisées et un échange de substrat simplifié. Sa couverture d'étape supérieure et ses capacités de vitesse de dépôt élevées permettent de réaliser des dispositifs rapidement et avec des rendements élevés.
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