Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS AMS 2100 #9068943 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS AMS 2100 L'équipement du réacteur est conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs et offre des capacités de dépôt avancées pour les matériaux métalliques, diélectriques et semi-conducteurs III-V. Il est composé de trois composantes principales : la Chambre des procédés, le Système de distribution de gaz (SMD) et le Contrôleur. Chambre de procédés : La chambre de procédés est conçue pour créer les conditions de pression, de température et de gaz nécessaires à la fabrication de substrats et de plaquettes semi-conducteurs. Il présente une conception inédite qui élimine le besoin de housses et permet l'acheminement direct des gaz de procédé au centre de la chambre. La chambre a également été conçue avec la souplesse nécessaire pour répondre à un large éventail d'exigences de processus, y compris l'intégration d'unités avec des technologies à sources multiples (CVD, PECVD, PVD, etc.). La chambre est faite d'un acier inoxydable innovant et de construction en Téflon qui assure un transfert thermique efficace et la gestion thermique du substrat. Distributeur de gaz : Le GDS contrôle l'écoulement des gaz de procédé et est équipé de fonctions de contrôle avancées. Cela comprend le contrôle indépendant du débit de gaz, du niveau d'écoulement total et de la pression. Le GDS est également conçu pour être intégré à d'autres sources et compatible avec une variété d'outils de processus. Contrôleur : Le contrôleur est conçu pour fournir une vue unifiée de l'ensemble de l'outil AMAT AMS 2100. Il est équipé de fonctionnalités avancées d'interface graphique utilisateur (UI) qui fournissent une configuration et un contrôle faciles de l'actif. L'utilisateur peut accéder rapidement à tous les paramètres et informations de diagnostic à partir du panneau de contrôle du contrôleur. Le logiciel permet également l'accès à distance et la gestion des données depuis un ordinateur ou une tablette. Dans l'ensemble, le réacteur AMS 2100 est conçu pour répondre aux plus hauts niveaux de performance et de fiabilité lors des processus de fabrication de semi-conducteurs à grande échelle. Il propose une approche unique et intégrée de la conception de modèles qui permet un contrôle supérieur des gaz de procédé et une gestion thermique efficace. Le contrôleur fournit une interface utilisateur intuitive pour une configuration et un contrôle faciles. Cela fait du réacteur AMS 2100 un excellent choix pour toute installation de fabrication de semi-conducteurs.
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