Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS AxZ Chambers for Endura CL #9313565 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS AxZ Chambers for Endura CL est un équipement de chambre de réaction idéal pour une grande variété de procédés de dépôt, y compris le dépôt de couches ultra minces et la gravure. Ce système est conçu pour être utilisé dans la production de films ultra-minces sur des substrats semi-conducteurs pour des applications telles que la fabrication de semi-conducteurs, MEMS/MOEMS, LED, OLED, pour la fabrication de cellules solaires, et plus encore. L'unité de chambre AxZ est composée de deux composants : le corps principal et le module Endura CL. Le corps principal de la chambre AxZ est construit en acier inoxydable et est conçu pour assurer une intégrité structurelle maximale et un fonctionnement fiable. Il présente une conception innovante qui minimise les non-uniformités locales de dépôt afin de fournir un dépôt uniforme sur toute la surface de la plaquette. Le module Endura CL est composé d'une chambre E, d'une unité centrale de préchauffage et d'une cheminée d'échappement. La chambre E est composée d'une chambre à couvercle, d'entrées de gaz de procédé et de broches de levage de plaquettes. L'unité de préchauffage se compose d'un chauffe-tube à quartz, de lampes infrarouges et d'un thermocouple, tous isolés thermiquement de la chambre E pour éviter la contamination du procédé. La cheminée d'échappement est conçue pour évacuer rapidement toute substance dangereuse ou dangereuse produite lors des opérations de gravure ou de dépôt. La chambre AxZ pour Endura CL est idéale pour un large éventail de procédés de dépôt tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt physique en phase vapeur (PVD), le dépôt électrochimique (ECD) et le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD). Cette machine peut accueillir des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre et peut traiter des substrats tels que le silicone, le titane et l'aluminium. Il offre également une capacité de confinement élevée (HCL) pour une sécurité accrue pendant l'exploitation. En outre, la chambre AxZ pour Endura CL peut fonctionner en mode manuel et automatique, ce qui en fait un choix idéal pour la fabrication de lignes de production. En résumé, AMAT AxZ Chambers for Endura CL est un outil extrêmement polyvalent conçu pour des performances fiables et un traitement précis des plaquettes. Il dispose d'un corps principal en acier inoxydable robuste et d'un module Endura CL modulaire pour une fonctionnalité accrue, et peut accueillir une grande variété de types de plaquettes. En outre, il est compatible avec divers procédés de dépôt et est capable de fonctionner en mode manuel et automatique. La chambre AxZ pour Endura CL est idéale pour la fabrication de semi-conducteurs, MEMS/MOEMS, et d'autres applications connexes.