Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS BPSG Chamber for Producer SE #293631717 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 293631717
Style Vintage: 2004
MKS Astron EX RPS
CLS208 Watlow controller
ALN Ceramic heater
1-1/8 C-Seal surface mount gas panel
0195-01042 AC Box
1080-00126 Heater lift driver
0190-13840 Pin lift driver
Manometer: 20T / 1000T
Pressure switch: 10 Torr
MKS 683B-31931 Throttle valve
NC 021010-1 ISO Valve
Process kit:
Top liner
Middle liner
Bottom liner
Pumping ring
Lift hoop
Gas panel:
Gas line / Gas / Size / MFC / Valve
1 / O3 / - / - / -
2 / O3 / - / - / Hamlet
3 / O2 / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet
7 / N2 / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet
8 / N2 / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet
9 / HE / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet
10 / N2-Purge / - / - / Hamlet
11 / N2-Purge / - / - / Hamlet
12 / NF3 / 5000 SCCM / UFC-8565 / Hamlet
13 / HE / 5000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet
14 / AR / 15000 SCCM / UFC-8565 / Hamlet
Liquid 1 / - / - / - / TEPO
Liquid 2 / - / - / - / TEOS
Liquid 3 / - / - / - / TEPO
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS BPSG Chamber for Producer SE est un système de réacteur haute performance conçu pour le dépôt de couches minces de verre borophosphosilicate (BPSG) dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Cette chambre est un composant essentiel de la plate-forme AMAT Producer SE, qui est un système polyvalent et largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour une gamme d'applications de dépôt de couches minces. La chambre BPSG utilise une combinaison unique de précurseurs chimiques et de paramètres de processus pour déposer des films BPSG avec une excellente uniformité, pureté et qualité de film. Les films BPSG sont couramment utilisés comme couches isolantes dans les dispositifs semi-conducteurs pour assurer l'isolation électrique entre les différentes couches du dispositif et pour planariser la surface du dispositif pour les étapes ultérieures de traitement. La chambre est équipée de capacités avancées de contrôle du processus, y compris un contrôle précis des débits de gaz, de la température, de la pression et des paramètres plasmatiques, afin d'assurer un contrôle serré du processus de dépôt et d'obtenir les propriétés de film souhaitées. La chambre dispose également d'un haut degré d'automatisation et d'intégration avec la plate-forme Producer SE, permettant un fonctionnement continu et des flux de production efficaces. Un des principaux avantages de BPSG Chamber MATÉRIAUX APPLIQUÉS est sa capacité à déposer des films BPSG avec une densité de film élevée, des niveaux d'impuretés faibles et une excellente couverture d'étape sur des structures d'appareils complexes. Ceci est essentiel pour assurer la fiabilité et les performances des dispositifs semi-conducteurs dans des applications exigeantes telles que les circuits intégrés, les dispositifs à mémoire et les capteurs. La chambre est conçue avec une architecture modulaire qui permet un entretien facile, l'entretien, et la mise à niveau pour répondre aux exigences de processus en évolution. Il est équipé de dispositifs de sécurité de pointe, y compris des systèmes de surveillance du gaz et d'interception, afin d'assurer un fonctionnement sûr et de réduire au minimum les risques d'accidents en salle blanche. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS La chambre BPSG est également conçue dans un souci de durabilité, avec des composants économes en énergie, des stratégies de réduction des déchets et le respect de la réglementation environnementale. Cela correspond à l'engagement de l'industrie des semi-conducteurs à réduire son empreinte environnementale et à adopter des pratiques de fabrication vertes. En résumé, AMAT BPSG Chamber for Producer SE est un système de réacteur très avancé et fiable pour le dépôt de films BPSG dans la fabrication de semi-conducteurs. Sa technologie de pointe, ses capacités de contrôle des processus et ses fonctionnalités d'automatisation en font un choix idéal pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à réaliser des films BPSG haute performance pour leurs appareils.
Il n'y a pas encore de critiques