Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 4.0 Radiance #9072172 à vendre en France
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Vendu
ID: 9072172
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
Platform RTP system, 12"
Chambers: A, B, D:
Chamber type: Radiance RTP
Lamp HTR
N2; PRCS/BTM/MAGLEV: 50/50/100slm
O2; PRCS 50/10slm, He: 50slm
Modifications:
CH-A.B.D Oximeter additional, Oxygen concentration monitoring
CH-A.B.D OLT additional functions, Remodeling the lamp annealing specification
Missing parts:
Slit Assy(Ch-A), 0010-03057
Slit Assy(Ch-B), 0010-03057
VHP Robot(Buffer), 0242-30245
Lamp head cooling water IN side hose (Ch-D)
Wafer suppor cylinder buttons (Ch-A)
FI Robot(FI), 0190-10300
APC (Ch-A), 0500-01147
Bu robot driver (Buffer), 0190-08277
RTC CPU Board (Ch-A,B,D), 0190-28454
FI Robot (FI), 0190-10300
ipump (LLK), 0190-27340
Maglev Controller (Ch-D), 0190-24282
Currently in storage
2003 vintage.
AMAT Centura 4.0 Radiance Reactor est un équipement de traitement de semi-conducteurs qui exploite la capacité à haut débit pour fournir des performances optimales. C'est un système CVD 4 chambres capable de traiter des substrats jusqu'à 200mm de diamètre. Avec ses niveaux élevés de stabilité, de fiabilité et d'évolutivité, le réacteur à radiance Centura 4.0 est conçu pour répondre aux besoins les plus exigeants de l'industrie des semi-conducteurs. Les quatre chambres du réacteur à rayonnement Centura 4.0 sont optimisées pour diverses applications, y compris la diffusion, la gravure et le dépôt chimique en phase vapeur. Chaque chambre est capable de pomper de grands volumes de gaz, jusqu'à 4,2 std L/min, permettant un traitement très efficace avec un débit uniforme et une pression constante. Il dispose également d'une unité de régulation de température avancée qui peut maintenir des températures aussi basses que 150 ° C ou jusqu'à 1000 ° C, fournissant une large gamme d'exigences de processus. En outre, l'utilisation de composants améliorés de manutention du gaz et la surveillance à distance assurent un contrôle uniforme des processus dans toutes les chambres. Les parois de la chambre sont en quartz, et les surfaces intérieures sont traitées au nickel pour assurer la stabilité à long terme et prévenir la contamination. La machine dispose également d'un outil d'entraînement sans contact qui élimine le besoin de pièces de rechange telles que des balais et des roulements, ce qui augmente encore la fiabilité des actifs. En outre, la capacité de débit élevée, résultant de la combinaison de quatre chambres et d'un modèle de livraison de gaz à haut rendement, offre des performances de débit maximales tout en minimisant les coûts globaux du processus. Le réacteur à radiance Centura 4.0 offre un certain nombre de caractéristiques de sécurité, telles qu'un équipement d'allumage automatisé, un entretoisement de chambre mécanique pour une sécurité accrue, et un système de ventilation bien conçu qui est capable d'évacuer de grands volumes d'échappement avec succès et rapidement. De plus, l'unité est conçue pour répondre aux normes de sécurité de l'industrie, y compris les exigences SEMI S94 et NFPA et ATEX. Le réacteur à radiance Centura 4.0 est le choix idéal pour une large gamme d'applications avancées de semi-conducteurs. Sa combinaison d'une capacité fiable à haut débit, d'une évolutivité et d'un excellent contrôle des processus en fait un choix idéal pour les fabricants de cette industrie en croissance rapide.
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