Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS #9122814 à vendre en France
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Vendu
ID: 9122814
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Poly silicon etch system, 8"
(2) Chambers
Position A: DPS Poly R1
Position B: DPS Poly R1
Position F: Orientor
Narrow body load locks
HP Robot
Generator rack
NBLL's
System controller
1997 vintage.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS est un réacteur de fabrication à grande échelle conçu pour créer et sculpter des dispositifs semi-conducteurs tels que transistors, puces et autres composants électroniques. Le réacteur est composé de trois composants : la chambre à quartz, l'équipement de distribution de gaz et le système de contrôle des procédés. La chambre à quartz est une chambre cylindrique en quartz, matériau naturel à base de silice. La chambre est conçue avec un ensemble de ports pour retenir les plaquettes et les gaz pendant le processus de fabrication. Grâce à la disposition des ports, des gaz et des plaquettes, les fabricants peuvent créer une variété de produits dans la Chambre. Pour éviter la contamination, la chambre à quartz est scellée sous vide et chauffée pour réduire la présence de particules indésirables. L'unité de distribution de gaz est la deuxième composante de l'AMAT Centura 5200 DPS. Cette machine permet aux fabricants de créer différentes réactions à l'intérieur de la chambre en délivrant des quantités précises de gaz. L'outil de livraison de gaz utilise un ensemble de régulateurs de débit de gaz, de vannes et de tuyauteries qui sont surveillés par le logiciel de contrôle de processus de l'actif. En mesurant avec précision la quantité de chaque gaz pompé dans le réacteur, les utilisateurs peuvent modifier le type de réaction qui a lieu. Le dernier composant de APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS est le modèle de contrôle des processus. Cela contrôle tout le processus de fabrication du début à la fin. Il contrôle le débit de gaz, la température de la chambre, l'entrée de puissance et la pression de la chambre. Il surveille également des paramètres importants tels que la résistance, la tension de claquage et la mobilité. L'équipement de contrôle de processus est également chargé d'alerter les conducteurs lorsque des limites prédéterminées sont atteintes. Le réacteur Centura 5200 DPS est un outil de fabrication extrêmement puissant qui est capable de manipuler et de sculpter une variété de dispositifs semi-conducteurs. Grâce aux caractéristiques avancées de sa chambre à quartz, de son système de distribution de gaz et de son unité de contrôle des procédés, le réacteur est en mesure de produire avec précision des composants électroniques complexes.
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