Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS #9211801 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS est un équipement de dépôt à grande échelle de 200mm conçu pour déposer des couches de matériaux hautement conformes sur de grandes surfaces. Ce réacteur dispose d'une grande précision, d'un contrôle de la température du substrat multi-zones, d'une chambre de dépôt thermiquement contrôlée et d'un système de distribution de gaz de type triple réglable pour répondre à la forme du substrat de chaque plaquette. Cette unité est conçue pour être compatible avec de multiples procédés de fabrication, y compris le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt de couche atomique (ALD) et la gravure de couche atomique (ALE). AMAT Centura 5200 DPS est une machine avancée pour le dépôt de films ultra-minces avec une grande homogénéité, répétabilité et couverture de substrat. Il est capable de déposer des films jusqu'à 200-500 nanomètres d'épaisseur à des vitesses allant jusqu'à 1000 nm par heure. Le châssis est composé d'aluminium, de silicium et d'acier inoxydable pour une durabilité maximale sans sacrifier les performances thermiques. Il dispose également d'une grande cloche qui peut s'adapter à plusieurs outils, avec la capacité de garder plusieurs rayons et longueurs de tube dans un seul outil. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura 5200 DPS est conçu pour faciliter l'utilisation, l'entretien et le nettoyage. Il dispose d'un outil de cartographie des plaquettes sans contact à bord qui permet des mouvements de plaquettes reproductibles et sûrs sans contamination. Il dispose également d'un contrôle automatique de la pression et de régulateurs de débit massique pour assurer la précision et la répétabilité. Le modèle dispose d'un processus entièrement automatisé ainsi que des commandes manuelles, de sorte que les utilisateurs peuvent rapidement ajuster les processus comme bon leur semble. Centura 5200 DPS dispose également d'un équipement automatisé d'essai de fuite qui peut détecter les fuites de gaz ou les fractures. En vérifiant automatiquement l'intégrité du système, les utilisateurs peuvent effectuer rapidement des ajustements et éviter des réparations ou des retards coûteux. L'unité dispose également d'une machine de gestion thermique avancée pour réguler la pression et la température plus efficacement. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS est un outil de dépôt fiable pour le dépôt de couches minces de haute qualité. Il est idéal pour produire des matériaux avancés de haute précision et des nanostructures comme MEMS et NEMS avec une grande précision et répétabilité. L'actif combine performance et technologie de contrôle de la température multi-zones de pointe pour les fabricants de puces, la recherche et les applications de laboratoire.