Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 HTF #9146382 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 HTF (High Temperature Four) est un outil de traitement thermique polyvalent développé pour des applications à haute fréquence jusqu'à une température de 850 ° C, adapté pour le recuit post-métallisation extensif, l'activation dopante et la recristallisation de silicium polycristallin. Le 5200 HTF offre un certain nombre de caractéristiques dans sa conception afin de promouvoir un traitement thermique cohérent et à long terme. Sa conception unique en forme d'elliptique comprend la distribution horizontale et verticale du champ de température, ce qui minimise les problèmes d'uniformité de température. Il est conçu avec un chauffage par induction à double source et à double fréquence, offrant un rendement élevé à des niveaux de puissance faibles et constants. De plus, son équipement de refroidissement à deux étages à haut rendement maintient efficacement la température du procédé et est conçu pour minimiser toute contamination par les particules générées par le procédé. Un système complet de contrôleur logique programmable (PLC) permet un contrôle fiable et répétable des processus. Il est équipé d'une gamme complète de dispositifs de sécurité comprenant un circuit d'interception à température excessive, la surveillance du débit d'eau et l'imagerie thermique. En outre, l'unité PLC est conçue pour stocker un grand nombre de recettes de traitement, ce qui le rend capable de mener plusieurs processus en succession rapide. La conception compatible de la salle blanche de la machine comprend une chambre scellée sans besoin de gaz de purge, et un double outil de récupération avec des réfrigérants sans CFC pour améliorer le nettoyage des filtres. Il est également intégré à l'actif de nettoyage AMAT Ultrapure™ pour un environnement sans contamination. Le 5200 HTF est l'outil de traitement thermique idéal pour la recherche et le développement, ainsi que pour la production industrielle à grande échelle d'appareils électroniques de haute qualité. Ses caractéristiques avancées permettent une excellente uniformité de température et de contrôle, permettant des processus thermiques répétitifs fiables et une qualité de produit supérieure.