Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+ #293820614 à vendre en France
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ID: 293820614
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Oxide dry etcher, 8"
(4) DXZ Chambers
HP Robot
DS80 Dry pump
(3) DS700 Dry pumps
(4) NESLAB 150 Chillers
(28) HORIBA Digital MFCs
Gases: CO, N₂, C₄F₈, O₂, CF₄, CHF₃, Ar
1996 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura 5200 MxP + est un réacteur semi-conducteur qui fait partie de la plate-forme Centura des systèmes de fabrication de semi-conducteurs. L'équipement permet un contrôle précis du processus de dépôt sur une large gamme de températures et de gaz de traitement, permettant un dépôt de film très fiable et reproductible. Le réacteur est équipé d'une chambre à foyer modulateur (MFC) et d'une chambre de purge qui offrent une homogénéité de température et un contrôle de procédé supérieurs. Le MFC offre un environnement réactionnel amélioré avec un débit gazeux et une température homogènes. Ceci offre une homogénéité et une répétabilité supérieures même pour les techniques de dépôt les plus complexes. La chambre de purge aide à éliminer les sous-produits résiduels laissés après le dépôt, tout en assurant de faibles niveaux de contamination. Il est également équipé de modules de traitement standard de l'industrie des semi-conducteurs, y compris les sources de dépôt, les systèmes de distribution de gaz et les dispositifs de chauffage par substrat. En tant que système modulaire, AMAT Centura 5200 MxP + permet de personnaliser la chambre de traitement pour répondre aux besoins du client avec des options qui incluent Magnetron Sputter Source, Cold-cathode Source et Vari-Pulse Sputter Source. L'unité est également compatible avec les processus traditionnels de métallisation et de nettoyage par voie humide, tels que PECVD, PVD, ALD et CVD. La conception modulaire de la machine permet aux utilisateurs d'ajuster la configuration de la chambre de processus afin de répondre à leurs besoins spécifiques. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura 5200 MxP + est un outil hautement fiable et reproductible qui est disponible dans une gamme de configurations, ce qui en fait un choix idéal pour la fabrication de semi-conducteurs. L'actif dispose également d'un faible budget et de temps de cycle rapide, ce qui contribue à maximiser la rentabilité et à assurer une performance de processus cohérente. Les mécanismes avancés de contrôle de la qualité et les logiciels de surveillance utilisés par le modèle garantissent également que chaque étape du processus de dépôt est surveillée et contrôlée de manière appropriée. Sa conception modulaire permet également d'améliorer les performances futures et de personnaliser au besoin. Cela fait du Centura 5200 MxP + un choix idéal pour une grande variété de besoins de fabrication de semi-conducteurs.
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