Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Phase I #9186211 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS La phase I de Centura 5200 est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) à haute performance, conçu pour être utilisé pour le dépôt de films de dépôt à haute pureté et à faible contrainte. Ce réacteur dispose d'un large éventail de technologies de traitement telles que la gravure par plasma à couplage inductif (PIC), l'implantation ionique et le dépôt par couche atomique renforcée de plasma (PEALD). Le lit de plaquettes peut traiter jusqu'à 300 mm (6 po) de plaquettes avec une contamination minimale. Il utilise une boîte à gaz pour créer une chimie stable et reproductible pour n'importe quelle taille de plaquette, ce qui assure l'épaisseur uniforme et la douceur de chaque dépôt. Le lit de plaquette est contrôlé en température pour assurer la même température de substrat dans chaque cycle de processus. AMAT Centura 5200 Phase I est équipé d'un équipement d'alimentation micro-ondes optimisé qui a plus d'efficacité et de puissance que les modèles antérieurs. Ce système assure une puissance plus cohérente pour les étapes de traitement telles que la gravure et le dépôt. Il est également optimisé pour réduire le nombre de particules lors du dépôt du film. L'unité est conçue avec une gamme de capacités de processus, permettant à l'utilisateur de traiter une grande variété de matériaux. Il est optimisé pour le dépôt de couches minces, la gravure des sulfures et le collage anodique, et peut être utilisé pour déposer des films tels que des nitrures, du silicium polycristallin, des oxydes et du cuivre. Par ailleurs, ce réacteur est capable de déposer des matériaux amorphes et polycristallins, permettant un prototypage ou un déploiement rapide des produits. La machine est également livrée avec un régulateur de température qui peut être réglé pour cibler la température souhaitée de la plaquette. Le réacteur est également conçu avec un outil de contrôle automatique de la pression et du débit pour maintenir une pression constante et optimisée de la chambre de procédé. Il est également équipé d'un moniteur d'hydrocarbures et d'un débitmètre RF multi-canaux pour optimiser la répétabilité du processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura 5200 Phase I est conçu pour dépasser les normes de sécurité et de fiabilité de l'industrie. Il répond aux normes de sécurité SEMI et est certifié CE. Il a également une lampe UV profonde, qui a une durée de conservation plus longue que les lampes à mercure traditionnelles et assure un environnement de dépôt propre et stérile. Ce réacteur est un excellent choix pour les clients qui recherchent un actif PECVD fiable, robuste et sûr.