Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E #293659851 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E
ID: 293659851
System (3) Chambers, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E est un type de réacteur à dépôt chimique en phase vapeur enrichi par plasma (PECVD) utilisé pour former des couches minces sur des plaquettes et autres substrats dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Caractérisé par un débit élevé, une homogénéité supérieure, un contrôle précis et un faible coût de possession, le réacteur AMAT Centura 5200 Super-E est devenu un choix populaire pour les fabricants qui cherchent à réduire les délais de traitement et à améliorer la qualité. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura 5200 Super-E travaille en produisant d'abord un plasma de particules chargées à l'aide d'une source de plasma à distance. Ce plasma est ensuite aspiré dans la chambre de réaction du réacteur où il interagit avec les précurseurs chimiques introduits en même temps. Les précurseurs réagissent pour créer le film mince désiré, qui se dépose lentement sur le substrat au fur et à mesure que le plasma est aspiré à travers la chambre. Le réacteur Centura 5200 Super-E offre une plus grande flexibilité que de nombreux systèmes PECVD similaires en permettant à l'utilisateur de choisir entre plusieurs sources de plasma différentes, et différentes chimies pour les précurseurs. Cela permet une plus large gamme de matériaux traitables, y compris du silicium polycristallin pour transistors ultra-minces et une variété de films diélectriques utilisés pour isoler et protéger les circuits. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura 5200 Super-E offre également une meilleure uniformité des procédés grâce à sa technologie de couplage par résonance plasma « Planar ». Dans ce système, le plasma est maintenu à l'intérieur de l'enceinte en utilisant une répartition uniforme de la puissance RF sur toute la surface de la plaquette ou du substrat, ce qui conduit à un dépôt de matière plus uniforme au cours du procédé. En outre, AMAT Centura 5200 Super-E est également conçu pour augmenter le débit et l'efficacité des processus. Il utilise des plaquettes de douche séquentielles pouvant contenir jusqu'à 25 articles individuels, permettant un chargement et un déchargement rapides des plaquettes. Cela accélère le processus global sans compromettre la qualité du dépôt. Dans l'ensemble, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura 5200 Super-E est un excellent choix pour la fabrication de semi-conducteurs en raison de son débit élevé, de son homogénéité supérieure, de son efficacité de procédé et de sa large gamme de matériaux traitables. Il est également très fiable et rentable, ce qui en fait un choix idéal pour des budgets serrés.
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