Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxP #9200052 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxP est un réacteur à procédés semi-conducteurs conçu pour répondre aux besoins d'une large gamme d'applications de fabrication de semi-conducteurs. Le réacteur est conçu pour offrir des performances supérieures en termes de stabilité et de répétabilité du procédé. Il dispose d'un équipement de contrôle facile à utiliser et économique, qui permet un contrôle précis et un réglage fin des paramètres du processus pour garantir un rendement maximal et la fiabilité de l'appareil. Le réacteur comporte deux chambres principales, la chambre principale et le module de traitement plus vaste. La chambre principale dispose de deux positions source et porte-plaquettes, avec un robot de transfert de plaquettes dédié. Le module de procédé comprend deux cellules d'effusion pour l'acheminement du gaz de procédé, une plaque principale et un étage source avec des commandes indépendantes de chauffage et de mélange de la plaque, ainsi qu'une surveillance de la température et de la pression. AMAT Centura 5200 WxP est conçu pour offrir une uniformité et une répétabilité maximales pour le traitement des plaquettes avec des gradients à basse température et des temps d'exécution courts. Il présente un nouveau design de plateaux qui utilise un mécanisme de distribution de gaz en forme d'arc pour une meilleure uniformité et répétabilité dans les zones thermiques. Le plasma est également soigneusement régulé pour un contrôle plus précis. La technologie avancée de contrôle informatique est utilisée pour la télécommande et la détection avancée des pannes et l'alerte à des fins de maintenance. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura 5200 WxP est conçu pour un fonctionnement fiable, jour après jour. Il est équipé d'un système éprouvé de vanne de gaz et d'un dispositif unique de miroir de zone chaude qui permet une utilisation optimale du gaz source dans le plasma. Une unité brevetée de trempe magnétique à double flux aide à maintenir la plus grande précision des conditions de chambre. En outre, la chambre est conçue avec une machine de chauffage modulaire, qui permet un refroidissement plus rapide et améliore la sécurité lorsque les processus sont interrompus. Le réacteur Centura 5200 WxP est conçu pour répondre aux normes les plus élevées de fiabilité et de convivialité. Il dispose de fonctionnalités avancées telles qu'une interface graphique facile à utiliser et intuitive, un outil automatisé de traitement des plaquettes, et un puissant paquet de collecte et d'analyse de données. Avec la plate-forme haute performance du réacteur, les clients obtiennent un débit, un rendement et une fiabilité de l'appareil maximaux avec des coûts de maintenance minimums. Cela fait d'AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxP un choix idéal pour les applications avancées de fabrication de semi-conducteurs.
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