Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ #9280941 à vendre en France

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ID: 9280941
Taille de la plaquette: 8
CVD System, 8" (3) Chambers.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura 5200 WxZ est un équipement de haute performance conçu pour permettre aux ingénieurs de procédé d'obtenir des résultats de fabrication optimaux dans des opérations de conditionnement avancées à haut volume. Cette plate-forme multi-stations dispose d'une large gamme de fonctionnalités, y compris le contrôle de la température à haut débit, l'automatisation du gaz de procédé, le contrôle complet en boucle fermée, et le roulement rapide de la chambre. Le système est intégré dans une solution complète de développement, de production et de caractérisation de processus pour diverses applications, y compris le NAND 3D, la mémoire nanowire, le MEMS, l'emballage MEMS et les produits RF/millimeterwave. Le réacteur AMAT Centura 5200 WxZ est doté d'une conception de poste de travail entièrement personnalisable et extensible qui permet aux ingénieurs d'augmenter ou de réduire régulièrement leur fonctionnement en fonction des demandes changeantes des clients ou des besoins technologiques changeants. Cette flexibilité peut produire jusqu'à cinq tailles de plaquettes et facilite le transfert rapide entre les étapes du processus. Il dispose également de la plus petite zone contrôlée par la température au monde, ce qui permet une précision optimale de la température et un contrôle serré de la température sur les processus critiques. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura 5200 WxZ dispose également d'une interface de contrôle de nouvelle génération conçue pour maximiser l'efficacité des ingénieurs de procédé en fournissant des instructions d'opérateur et des instructions visuelles lors du fonctionnement de l'unité. Son puissant contrôleur de haut niveau et son écran tactile intuitif fournissent un contrôle complet du véhicule, de la plaquette et de l'outil avec des retours de données en temps réel, permettant des réactions plus rapides aux scénarios de production changeants et la mise en œuvre d'améliorations de processus. Le réacteur a également la capacité de capturer et de stocker des recettes de processus, de mesurer les taux de rampe de processus et de tracer dans les archives de données. Cette machine offre également un module de distribution de gaz convivial qui permet aux ingénieurs de processus de personnaliser et d'automatiser leurs flux de gaz, permettant une plus grande répétabilité et précision dans les opérations. Le contrôle de pression automatisé de la fonction maintient des flux de gaz stables, permettant un débit de traitement rapide et l'uniformité. Enfin, le réacteur Centura 5200 WxZ offre une capacité avancée d'optimisation des procédés, permettant aux ingénieurs des procédés d'accéder à plusieurs courbes d'optimisation des procédés pour assurer la précision et la cohérence de la température. L'outil comprend également une technologie intégrée de levage par lots pour le traitement rapide des matrices et des sous-matrices et une station de métrologie entièrement automatisée pour la caractérisation sur le terrain.
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