Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #200144 à vendre en France

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 est un équipement de réacteur multi-chambres qui fournit des capacités de gravure et de dépôt intégrées pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. Il combine flexibilité de processus, performances automatisées et haut débit, ce qui le rend bien adapté pour des applications de production à haut volume. Ce système est capable de fournir une variété de processus de gravure et de dépôt, y compris le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD), le dépôt en couche atomique (ALD) et plus encore. Il peut également fonctionner dans des orientations verticales et horizontales, ce qui permet une plus grande flexibilité dans le domaine de l'intégration des processus. L'unité est constituée d'une configuration à trois chambres, la chambre supérieure logeant les sources et les porte-sources, la chambre médiane ayant la chambre de procédé principale, et le fond contenant la machine d'échappement. La chambre de procédé est le cœur de l'outil et est contenue dans une enceinte étanche sous vide de niobium, de titane et d'acier inoxydable. Cette chambre est conçue pour fonctionner entre 5 et 10 mTorr, permettant une large gamme de paramètres de traitement. La chambre dispose d'un suscepteur à quartz réglable conçu pour assurer un dépôt uniforme et un kit d'amélioration est inclus pour améliorer les performances de gravure ionique réactive (RIE). L'une des caractéristiques les plus impressionnantes de l'AMAT Centura 5200 est ses capacités d'automatisation avancées. Cet atout est capable de contrôler les processus et les recettes avec précision, assurant que les performances souhaitées sont atteintes. Le modèle d'automatisation permet également de prendre en charge la maintenance à distance, d'améliorer le contrôle des processus et d'éliminer le besoin en personnel dans la salle blanche. De plus, la conception modulaire de l'équipement lui permet de s'adapter facilement aux nouvelles exigences du processus et les composants clés sont disponibles dans plusieurs configurations, rendant le système plus efficace et polyvalent. Dans l'ensemble, MATÉRIAUX APPLIQUÉS/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura 5200 est une unité impressionnante et fiable pour des applications de production à haut volume. Il offre des performances automatisées, précision et haut débit et offre une variété de processus de gravure et de dépôt. Il est également polyvalent, économe en énergie et contient des capacités d'automatisation avancées, ce qui en fait un choix populaire pour tous les types de fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés.