Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #293607517 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 est un équipement avancé de fabrication de dispositifs semi-conducteurs spécialement conçu pour les applications du cuivre. Il s'agit d'un système de réacteur à gravure sèche composé d'un sous-système de réacteur intégré (IRS) et d'un sous-système multiréacteurs (MRS). L'IRS est composé de deux réacteurs, le réacteur supérieur et le réacteur inférieur et peut être configuré pour traiter jusqu'à quatre cents produits différents. Le SRM est composé de quatre réacteurs indépendants supplémentaires, deux dans une seule configuration, permettant une production de wafers à haut et à faible volume. Le réacteur supérieur est un réacteur de gravure de métal et d'oxyde de silicium conçu pour éliminer précisément les films de métal, d'oxyde, de nitrure et autres sans endommager le substrat sous-jacent. Il s'agit d'une unité de gravure en flux utilisant des impulsions à haut débit dans la chambre, assurant une gravure uniforme des films avec un haut degré de contrôle. Le réacteur inférieur est capable à la fois de gravure standard et de gravure plasma haute densité, offrant des caractéristiques de rapport d'aspect élevé avec une répétabilité et des rendements de processus élevés. La machine offre un module logiciel automatisé intuitif avec des recettes intégrées et l'optimisation des processus grâce à la rétroaction des produits en temps réel. De plus, l'outil dispose d'un diagnostic avancé, de routines de processus et de plans de maintenance qui permettent d'identifier et de corriger rapidement les erreurs. L'actif est très fiable, efficace et rentable, ce qui en fait un excellent atout pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. AMAT Centura 5200 est un modèle supérieur de réacteur à gravure sèche pour des applications de cuivre sur le marché de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Ses réacteurs multiples offrent aux utilisateurs des capacités de gravure polyvalentes et une répétabilité des processus. En outre, ses diagnostics avancés, ses routines de processus et ses plans de maintenance en font un équipement très efficace, offrant une grande valeur à ses clients.