Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9046127 à vendre en France
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Vendu
ID: 9046127
Taille de la plaquette: 8"
RTP System, 8"
Divisional mainframe
(2) Load -locks
(2) Process chambers
(1) Cool-down chamber
Data logging capability
Wafer rotation: 90 rpm during anneal
Chamber heating: 187 tungsten-halogen bulbs in hexagonal pattern
Bulbs: 12 concentric zones (grouped)
Temperature controllers in software.
AMAT (MATÉRIAUX APPLIQUÉS) AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura 5200 est un réacteur d'amélioration de processus haute performance conçu pour répondre aux normes rigoureuses de la fabrication de semi-conducteurs. Il offre un certain nombre de fonctionnalités conçues pour augmenter la productivité, minimiser les coûts et optimiser la fiabilité du produit. AMAT Centura 5200 est capable de traiter rapidement divers matériaux, y compris les composés métalloïdes et III-V, dans un environnement contrôlé. Il dispose d'une chambre en acier inoxydable non magnétique et d'une paire de porte-soufflets et de plaquettes en quartz robustes pour améliorer le débit. L'équipement comporte un système de distribution de gaz de refroidissement, ainsi qu'un refroidissement adaptatif assurant des températures uniformes dans toute la chambre. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura 5200 est conçu pour réduire les temps de cycle, conserver les ressources et améliorer la qualité des produits. Il est doté d'une élévation verticale à grande vitesse et d'une conception de chargement et de déchargement à faible altitude qui réduit considérablement les temps de cycle. L'unité dispose également d'un thermorégulateur sophistiqué avec des techniques de contrôle de linéarisation adaptative, une technologie de capteur de processus améliorée, ainsi qu'une machine d'auto-nettoyage sous vide qui assure des performances précises, cohérentes et reproductibles. Centura 5200 a été développé pour répondre aux besoins des fabricants nécessitant des améliorations de productivité élevées. Il est équipé de systèmes avancés de commande de mouvement, assurant des mouvements précis, avec ses ascenseurs à grande vitesse, de haute précision et des mécanismes de chargement/déchargement. L'outil offre également une vitesse et une précision de processus améliorées, ainsi qu'un rendement et une uniformité améliorés des plaquettes. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura 5200 est un choix de haute performance pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à réduire les temps de cycle et à améliorer la fiabilité du produit. Il est conçu pour être capable de traiter divers matériaux, en incorporant une gamme de fonctionnalités innovantes conçues pour augmenter la productivité, minimiser les coûts et optimiser la qualité des produits.
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