Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9061043 à vendre en France
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ID: 9061043
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Etcher, 8"
Cassette nest plastic, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
System information:
Platform type: Centura
(3) Process chambers
SECS / GEM: Yes
Chamber location / Type / Current process:
Position A / MxP / Poly etch
Position B / MxP / Poly etch
Position C / MxP / Poly etch
Position F / Orienter (Laser assy not available)
Etch chamber:
Chamber type: MxP
Wafer clamp: Polyimide ESC
BS He cooling: Yes
He dump line: Yes
Turbo pump: SEIKO STP-301CVB
Endpoint type: Stand alone
Monochrometer: Per chamber
Generator model: ENI OEM-12B3
Max power: 1250w
Lid temp control: PID Control
Gate valve: Heated gate valve
Matcher: SMA-1000
Process manometer: MKS 1Torr
Gas panel:
Manual valve: Yes
Transducer: Yes
Transducer displays: Yes
Regulator: Yes
Filter: Yes
Gas panel facilities hook up: Single line drop bottom feed (Left side)
Exhaust: Top
Gas panel door interlock: Yes
Gas panel exhaust interlock: Yes
Gas panel pallet:
Corrosive gas line: (2) Lines per chamber
Inert gas line: (6) Lines per chamber
MFC type: STEC SEC-7440MC
Gas line (gas name, MFC size)
ChA
Line 1: CL2 / 80 / SEC-7440
Line 2: HBR / 100 / SEC-7440
Line 3: NF3 / 100 / SEC-7440
Line 4: CHF3 / 70 / SEC-7440
Line 5: O2 / 40 / SEC-7440
Line 6: CF4 / 100 / SEC-7440
Line 7: Ar / 100 / SEC-7440
Line 8: N2 / 100 / SEC-7440
ChB
Line 1: CL2 / 83 / SEC-7440
Line 2: HBR / 100 / SEC-7440
Line 3: NF3 / 100 / SEC-7440
Line 4: CHF3 / 70 / SEC-7440
Line 5: O2 / 40 / SEC-7440
Line 6: CF4 / 100 / SEC-7440
Line 7: Ar / 100 / SEC-7440
Line 8: N2 / 100 / SEC-7440
ChC:
Line 1: CL2 / 80 / SEC-7440
Line 2: HBR / 100 / SEC-7440
Line 3: NF3 / 100 / SEC-7440
Line 4: CHF3 / 70 / SEC-7440
Line 5: O2 / 40 / SEC-7440
Line 6: CF4 / 100 / SEC-7440
Line 7: Ar / 100 / SEC-7440
Line 8: N2 / 100 / SEC-7440
Mainframe:
Facilities type: Regulated
Loadlock type: Wide body
Loadlock auto-rotation: Yes
Wafer mapping type: Fast
Wafer mapping sensor: Yes
Cassette present sensor: Yes
Transfer chamber manual lid hoist: Yes
Robot type: HP
Emo button: Front side
Water leak detector: Yes
Signal tower (front): Green, yellow, red
(2) System monitor displays / controller: Front, remote
Remotes:
System controller & AC rack
EMO button: Yes
Smoke detector: Yes
Line frequency and voltage: 50/60Hz, 208VAC, 3ph
Remote UPS interface: Yes
Generator rack
EMO button: Yes
Smoke detector: Yes
Water leak detector: Yes
Heat exchanger type:
For wall: RISSHI CS-400SW-2 (0 - 80°C)
For cathode: RISSHI CS-400SW-2 (0 - 80°C)
Pumps type:
LL Chamber: EBARA A30W
Transfer chamber: EBARA A30W
Ch A: EBARA A30W
Ch B: EBARA A30W
Ch C: EBARA A30W
Gas scrubber: EBARA GTE-3
1996 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura 5200 est un réacteur haute performance spécialement conçu pour la production de semi-conducteurs de pointe. Il combine des technologies de dépôt avancées avec des capacités d'automatisation intégrées pour une flexibilité et un contrôle optimaux des processus. AMAT Centura 5200 dispose d'une chambre de dépôt hybride unique qui facilite les procédures de processus agressives, permettant à la fois des réactions à basse température et à haute température. Ceci permet aux utilisateurs de traiter plus rapidement, grâce à la méthode de dépôt hybride qui augmente le débit en réduisant les temps d'arrêt associés aux chambres d'échange. Ce réacteur permet aux utilisateurs de produire des films plus uniformes et cohérents avec un débit plus élevé. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura 5200 dispose également d'un certain nombre de processus disponibles et personnalisables logiciel qui permet aux utilisateurs de personnaliser le produit à leurs exigences spécifiques. Les utilisateurs peuvent utiliser ce logiciel pour personnaliser les recettes de dépôt et les flux de traitement, en adaptant au mieux les fonctionnalités du réacteur à leurs besoins. Cela permet également aux utilisateurs de modifier et de répéter rapidement les processus afin d'améliorer l'optimisation et la fiabilité des processus. Le réacteur Centura 5200 dispose d'un système de diagnostic à distance sophistiqué qui permet un service rapide et facile et un dépannage. Le système intégré de contrôle automatisé et de diagnostic offre aux utilisateurs la flexibilité nécessaire pour diverses tâches, de la R-D à la production. Ces contrôles flexibles permettent également aux utilisateurs de maximiser les débits et de surveiller les paramètres de processus en temps réel. De plus, le réacteur Centura 5200 d'AMAT/APPLIED MATERIALS est conçu en tenant compte de la sécurité. Il offre un large éventail de garanties de sécurité et de protection de l'environnement, y compris des protecteurs et des dispositifs d'encastrement des chambres, afin de s'assurer que le réacteur fonctionne conformément à la réglementation environnementale. AMAT Centura 5200 est un réacteur avancé avec une large gamme de caractéristiques, ce qui en fait l'un des meilleurs réacteurs à haute performance sur le marché. Sa conception avancée des chambres de dépôt, ses capacités d'automatisation intégrées et ses contrôles flexibles en font une solution idéale pour diverses tâches, de la R-D à la production.
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