Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9181378 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 est un réacteur multi-chambres conçu pour une gamme de procédés de production dans l'industrie des semi-conducteurs, y compris la gravure, le dépôt et l'implantation ionique. L'équipement est capable de traiter jusqu'à 12 plaquettes simultanément, fournissant des cadences de production efficaces. Le 5200 dispose de systèmes distincts de gestion du vide, du gaz inerte et des produits chimiques pour chaque récipient de procédé. Il comprend également un dépôt physique en phase vapeur (PVD), une résonance cyclotron électronique (ECR) et plusieurs systèmes de pince électrostatique (ESC). L'ESC permet au réacteur de contrôler avec précision les paramètres plasmatiques, ce qui donne de meilleurs résultats en matière de gravure et de dépôt. Le 5200 est conçu en tenant compte de la compatibilité, ce qui permet aux opérateurs de l'intégrer dans tout type de système de traitement de semi-conducteurs. Les interfaces d'AMAT Centura 5200 peuvent être connectées à l'ordinateur de l'installation, assurant la communication entre l'équipement et les opérateurs. Cela permet aux opérateurs de surveiller plusieurs paramètres simultanément, en améliorant le contrôle du processus et le rendement des plaquettes. Le 5200 comprend également une interface utilisateur graphique qui comprend des alarmes avancées, qui alertent l'opérateur sur des problèmes potentiels. Le 5200 est l'un des réacteurs les plus avancés sur le marché aujourd'hui, et offre une variété d'avantages de procédé. Il utilise la technologie de pointe de propulsion par plasma et d'uniformité, donnant aux utilisateurs une répétabilité de débit et de processus plus élevée. La 5200 dispose également d'une unité de détection d'extrémité avancée, qui est conçue pour mettre fin aux gravures avant qu'elles ne causent des dommages à la plaquette. En outre, il dispose de capacités avancées de contrôle du gaz, y compris la modulation du débit endgas, les capacités ECR, et le mélange réactif de gaz. Le 5200 est conçu pour répondre à toutes les exigences de sécurité applicables, ce qui le rend à la fois fiable et sûr. La machine est conçue pour être conforme aux normes NFPA, y compris NFPA 85, NFPA 86 et NFPA 496. De plus, les caractéristiques de sécurité comprennent un mécanisme de recul pour éliminer la surgravure, une surveillance avancée des déplacements et des configurations avancées de verrouillage des pannes. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura 5200 est un choix idéal pour l'industrie du traitement des semi-conducteurs en raison de sa technologie avancée et de ses caractéristiques de sécurité. Il offre aux utilisateurs la répétabilité de débit et de processus la plus élevée possible, ainsi qu'un fonctionnement fiable et sûr.
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