Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9196778 à vendre en France
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Vendu
ID: 9196778
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
PECVD System, 8"
Process: eMax
JMF
SMIF Interface: No
Chamber A / B / C: eMax
Chamber F: Orientor
Load lock A / B: Narrow
(6) Wafer sensors
EPD Controller
System placement: System alone
Chamber A / B / C:
RF Match: 0010-30686
RF Generator: OEM-28B
ALCATEL ATH1600M Turbo pump
Throttle valve
MKS TYPE127 1TORR Mono meter
Mainframe information:
System placement: Stand alone
Robot type: HP+
L/L Wafer mapping
Slit Valve / Plate type: Standard
Robot blade: Ceramic
W/F Slippage sensor
N2 Purge
Heat exchanger (Chiller): No
Dry pumps: No
System monitor: Stand alone
Gas panel configuration: 7 Channels
Chamber A:
CL2 / 100 Sccm / SEC-4400M
CF4 / 100 Sccm / TYLAN 2900
N2 / 100 Sccm / SEC-4400
AR / 300 Sccm / SEC-4400M
O2 / 5 Slm / SEC-4400M
CHF3 / 20 Sccm / SEC-4400M
CF4 / 100 Sccm / SEC-4400M
Chamber B:
C4F8 / 50 Sccm / SEC-7440MC
CO / 500 Sccm / SEC-7440MC
N2 / 100 Sccm / SEC-4400
AR / 200 Sccm / SEC-4400M
O2 / 50 Sccm / SEC-4400M
CHF3 / 100 Sccm / SEC-4400M
CF4 / 50 Sccm / SEC-4400M
Chamber C:
CL2 / 100 Sccm / SEC-7440MC
CHF3 / 50 Sccm / TYLAN 2900
N2 / 100 Sccm / SEC-4400
AR / 2 Slm / SEC-4400M
O2 / 5 Slm / SEC-4400M
CHF3 / 20 Sccm / SEC-4400M
CF4 / 50 Sccm / SEC-4400M
Electrical:
Line frequency: 50 / 60 Hz
Power: 208 VAC, 4 Wires, 3 Phase delta
Missing parts:
(2) Slit valves
(3) Flow sensors & coolant lines
EPD Monitor
Liner for B-ch
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 est un réacteur de traitement de haute capacité qui offre des performances supérieures pour la fabrication de circuits intégrés et de dispositifs semi-conducteurs avancés. AMAT Centura 5200 est conçu avec une automatisation avancée et une flexibilité à l'esprit, permettant la précision et la rapidité dans l'exécution de tâches complexes de traitement des plaquettes. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura 5200 est équipé d'un large éventail de fonctions automatisées, telles que la manutention automatique des plaquettes, le chargement/déchargement à position variable, les processus automatisés de résistance et de gravure, le marquage laser automatisé et la capacité de traiter jusqu'à sept plaquettes simultanément. De plus, le Centura 5200 offre des capacités d'inspection avancées, telles que le balayage automatique des bords et la détection des défauts. Cet ensemble de fonctionnalités avancées permet à AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 d'atteindre des niveaux de précision et de débit plus élevés que les systèmes de traitement traditionnels. AMAT Centura 5200 est capable de fonctionner de manière fiable dans un large éventail de conditions de traitement, assurant des performances cohérentes et prévisibles à diverses températures et pressions ambiantes. Il est également équipé d'un système intégré de surveillance environnementale qui aide les exploitants à assurer des conditions de traitement sûres et sécurisées. De plus, les systèmes de contrôle dynamique avancés Centura 5200 contrôlent et ajustent en permanence la pression interne du réacteur, en veillant à ce que les conditions optimales soient maintenues tout au long du processus de gravure. Centura 5200 fournit également des performances de processus fiables et répétables en utilisant des systèmes de contrôle de processus précis qui surveillent et ajustent en permanence le débit de gaz et les niveaux de pression. Ce système permet un contrôle précis des concentrations de réactifs, ainsi que des réglages précis de température et de débit, permettant aux utilisateurs d'obtenir des résultats précis avec des processus répétables à chaque fois. En outre, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 dispose d'un ordinateur de contrôle de processus intégré, qui fournit des données en temps réel sur la température et la pression de la plaquette, ainsi que d'autres paramètres importants du processus de la plaquette à la plaquette. Les capacités avancées d'automatisation et de contrôle des processus d'AMAT Centura 5200, combinées à sa conception et sa construction robustes, en font un excellent choix pour les applications de gravure à haut volume. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura 5200 est capable de traiter jusqu'à 7 plaquettes simultanément et est garanti de fournir des résultats fiables et reproductibles à chaque cycle. Ses capacités avancées d'automatisation et de contrôle des processus permettent également à l'opérateur de contrôler efficacement et avec précision les paramètres de ses processus de gravure, assurant des performances cohérentes et prévisibles tout au long.
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