Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9198786 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour la fabrication industrielle de semi-conducteurs. Ce réacteur multi-chambres supporte le dépôt de jusqu'à trois matériaux simultanément pour des applications telles que les structures à double damascène en cuivre, les structures à haut taux de contact et à condensateurs MIM, et les interconnexions métalliques avancées. Avec son module breveté Tamarac Amox Etch Single-wafer et sa capacité de processus à double charge descendante, l'AMAT Centura 5200 assure la production fiable de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité et performants. Au cœur des matériaux appliqués Centura 5200 sont ses cinq composants de système qui assurent des performances de processus optimisées et un excellent contrôle de processus. Centura 5200 est équipé d'un module complexe sur site (OCM) qui profite de la technologie avancée de commande basée sur des modèles pour permettre un réglage rapide et précis des processus dans des conditions de fonctionnement variables. Ce module fournit une rétroaction en temps quasi réel sur la qualité des plaquettes, le taux de dépôt et l'uniformité des procédés. De plus, le module On-Wafer Electrical Test (OWET) permet de tester rapidement les caractéristiques électriques des plaquettes, tandis que le module Single-Wafer Etcher (SWEM) assure des processus de gravure rapides et précis. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura 5200 est également équipé d'une capacité de charge double descendante pour améliorer le débit, ainsi que de pinces rotatives pour une meilleure manipulation des grands substrats. AMAT Centura 5200 dispose également d'une interface graphique conviviale qui permet aux utilisateurs d'accéder facilement aux recettes de processus, d'examiner les profils de dépôt ou d'ajuster les paramètres de processus. Grâce à l'OCM, trois chambres intégrées permettent le dépôt multicouche pour produire des structures de cuivre de haute qualité double damascène et permettent des capacités MIM et des structures de contact avec des caractéristiques d'aspect-ratio de sous-75nm. Sa fonction d'isolation thermique intégrée permet de minimiser la contamination des faisceaux et le désalignement des plaquettes. L'ordinateur central a également été conçu pour l'extensibilité avec la capacité d'intégrer jusqu'à six chambres pour tester plusieurs matériaux ou processus simultanément. Grâce à l'intégration avec les kits d'outils des principaux fabricants d'IC, APPLIED MATERIALS Centura 5200 aide les fabricants à développer des améliorations de rendement et à mettre les appareils sur le marché plus rapidement. Il est conçu pour faciliter la maintenance et prend en charge jusqu'à un million d'heures de temps moyen entre les pannes (MTBF). Cela permet aux fabricants de bénéficier à la fois de performances accrues de l'appareil et de temps d'arrêt réduit. Dans l'ensemble, le Centura 5200 est conçu pour des applications industrielles à haut rendement et à haut débit et offre des capacités de dépôt avancées qui peuvent aider à mettre de nouveaux appareils sur le marché plus rapidement. Avec sa combinaison de solides caractéristiques de dépôt de matériaux, de contrôle des procédés et d'extensibilité, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 est le choix idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés.