Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9221091 à vendre en France
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Vendu
ID: 9221091
Taille de la plaquette: 8"
WxZ System (CWxZ), 8"
(3) Chambers
HP Robot
Load lock chamber: Narrow body
Ceramic heater
Microwave type
Heat exchanger
Missing parts.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 est un réacteur très efficace et fiable qui est utilisé pour divers procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il combine un ensemble unique de technologies de processus avec des résultats prévisibles et reproductibles, de sorte qu'il peut fournir des performances supérieures. Il est doté d'un rendement élevé et est conçu pour assurer une production rapide et cohérente de plaquettes. AMAT Centura 5200 est un équipement de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) intégré à une seule tranche, basé sur la technologie avancée PECVD à basse pression. Il s'agit d'un système de réacteur universel, qui peut être configuré pour effectuer un large éventail de procédés chimiques et de distribution de gaz, ainsi que des vitesses de dépôt variables et des tailles de chambre. L'unité offre des capacités CVD à basse pression leader dans l'industrie, et est conçue pour permettre une grande variété d'applications de dépôt en couches minces et de gravure. Le module de processus PECVD combine un certain nombre de technologies propriétaires de contrôle de processus qui offrent le plus haut niveau de précision et de répétabilité. Ceci permet des rendements plus élevés de dépôt en couche mince CVD de la plus haute qualité. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura 5200 est encore amélioré grâce à des technologies de contrôle avancées qui permettent aux utilisateurs de contrôler le processus de dépôt du début à la fin. Cela inclut la technologie avancée de suivi des plaquettes qui fournit aux utilisateurs un processus amélioré et un contrôle du rendement, ainsi qu'un plus grand débit. Centura 5200 est également équipé d'une machine de gestion thermique entièrement automatisée pour améliorer l'intégrité du produit. L'outil est capable de supporter jusqu'à 2000 plaquettes par heure de débit et les substrats usuels tels que Si, SiC, Co, W et Ta. Au total, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 est un réacteur avancé, fiable et efficace qui convient à un large éventail d'applications CVD. Elle offre des performances, une répétabilité et des rendements supérieurs.
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