Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9401872 à vendre en France
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ID: 9401872
Style Vintage: 1996
Dry etch cluster
(3) Process chambers
RF Supply cabinet containing
RFPP LF10A RF Supply
RFPP RF20R RF Supply
(3) ENO IEM-12B3 RF Generators
(4) BOC EDWARDS QDP80 Vacuum pumps
(2) BOC EDWARDS QDP40 Vacuum pumps
(3) NESLAB HX 150-CHX Recirculating chillers
NESLAB Steelhead 1 CHX recirculating chiller
Power supply: 208 V, 60 Hz, 139 kVA
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 est un réacteur conçu pour la fabrication de procédés semi-conducteurs. Il est spécifiquement conçu pour soutenir le dépôt électrochimique du cuivre, le polissage mécanique chimique du cuivre et les procédés de gravure électrochimique du cuivre. La chambre a la capacité de traiter des plaquettes allant de 150mm à 300mm. AMAT Centura 5200 dispose d'une plate-forme robuste offrant une homogénéité, une répétabilité et une flexibilité d'équipement inégalées. Des alimentations électriques indépendantes, à faible dérive, dynamiques et statiques assurent à la fois précision et stabilité. Les chimistries électrodéposantes avancées, ainsi que les stratégies uniques de réglage et de surveillance des procédés à double électrode, offrent un contrôle supérieur de la forme des impulsions pour réduire les variations et améliorer encore l'uniformité. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura 5200 fonctionne sous une conception à paroi chaude qui facilite le développement de processus avancés et optimise les performances. Un kit d'outils modulaire permet également l'expansion et le développement de processus ainsi que l'amélioration du débit. Le système de distribution de gaz entièrement automatisé Centura 5200 et l'unité de lavage avancée à deux étages garantissent une cohérence et une précision supérieures en matière de contrôle du gaz. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 dispose également d'une machine avancée de surveillance des processus, l'outil TELEDMD, qui comprend une base de données d'image et d'état des processus BIOSMD. Cet atout permet de suivre rapidement les changements de recettes, les valeurs de dérive, l'état du modèle et les tendances tout au long des processus, assurant un contrôle complet de l'étalonnage initial à l'entretien et à l'optimisation ultérieurs. Ce contrôle supérieur et la flexibilité positionne AMAT Centura 5200 comme une solution idéale pour une variété d'exigences de fabrication de procédés semi-conducteurs. Il est très fiable, efficace et optimisé pour une précision, une uniformité et une vitesse maximales. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura 5200 est un outil révolutionnaire de traitement des semi-conducteurs et un atout essentiel pour l'ingénierie des semi-conducteurs.
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