Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura ACP RP #9170816 à vendre en France

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AMAT / APPLIED MATERIALS Centura ACP RP
Vendu
ID: 9170816
Taille de la plaquette: 12"
EPI System, 12".
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura ACP RP est un réacteur semi-conducteur très efficace conçu pour le traitement avancé des circuits. Le réacteur est capable de réaliser 20 procédés de gravure sophistiqués sur les plaquettes les plus complexes tout en générant une extrême précision de circuit. Le procédé plasma Centura offre un contrôle de chambre supérieur et une complexité de procédé supérieure à tout autre dépôt chimique en phase vapeur (CVD) ou système de gravure sur le marché. AMAT Centura ACP RP dispose de deux turbo-pompes, chacune capable de pomper une plage de 0 à 1.2 torr, ainsi que de deux sources de résonance cyclotron électronique de haute puissance (ECR) d'une puissance combinée de 35kW. L'installation comprend également deux entrées de gaz réactifs quartz et deux régulateurs de débit massique quartz, permettant un contrôle précis du gaz de procédé. En outre, MATÉRIAUX APPLIQUÉS La chambre de traitement extra-large de Centura ACP RP fournit une source basse pression qualifiée pour les procédés de gravure d'ions réactifs (RIE) et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) par fil chaud. En termes de caractéristiques, Centura ACP RP comprend un interféromètre laser haute résolution pour détecter tout désalignement dans la chambre dû à la dérive du processus. Le système contient également plusieurs ports d'application distribués pour le fonctionnement et le contrôle simultanés de plusieurs étapes de processus. Ceci permet une plus grande précision et répétabilité des processus grâce à une meilleure synchronisation des technologies. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura ACP RP est idéal pour le traitement de circuits avancés en raison de sa complexité de processus avancée qui se traduit par des performances exceptionnelles en termes de vitesses et de rendements. De plus, la chambre extra-large de l'installation maintient un dépôt uniforme sur la plaquette cible, ce qui permet de fusionner plusieurs couches avec plus de précision. Le contrôle de chambre supérieur fourni par AMAT Centura ACP RP le rend également approprié pour le traitement de CIP (Clean-In-Place), ce qui réduit considérablement la contamination croisée et les défauts potentiels du produit. Dans l'ensemble, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura ACP RP est un réacteur à semi-conducteur fiable qui garantit des performances de traitement supérieures et permet un traitement des circuits extrêmement complexe. Avec ses caractéristiques avancées, son design robuste et son large éventail de capacités, Centura ACP RP est le choix idéal pour les fabricants de puces qui exigent une précision et une répétabilité extrêmes de leurs processus de gravure ou de dépôt.
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