Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura ACP #9044357 à vendre en France
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Vendu
ID: 9044357
RP EPI system, 12"
Install Type: Through-the-wall (TTW)
Platform Type: 300mm Centura ACP
System Config:
FI/LPs
LLK-A (Batch Load)
LLK-B (Batch Load)
Ch-A: RP EPI
Ch-B: RP EPI
Ch-C: RP EPI
Ch-D: RP EPI
Cassette Interface:
Factory Interface (FI): rev 5.3+
(2) 300mm TDK FOUP Load-ports
Status Lamp: FI Mounted, Programmable, (R, Y, G, B)
Transfer Chamber Lid type : Solid (SS)
User Interface: System-side UI on Roll-around stand
Touch Screen
Keyboard/Mouse
System Software (SW) ver: ccB2.6_37
Power Requirements: 480/208VAC, 3-Phase
Chemical/Gases used: H2, DCS, HCL, N2
Remote Components: (2) AC Remote Panel, 480VAC
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ACP est un réacteur de dépôt de pointe conçu pour des applications avancées de conditionnement de semi-conducteurs. Il est capable de fournir des résultats performants, peu coûteux et à haut rendement pour une variété de matériaux, tels que les polymères, les oxydes et les produits organiques. AMAT Centura ACP est conçu pour les emballages semi-conducteurs avancés et dispose d'un design modulaire pour personnaliser les processus. Il présente une caractéristique avancée de vitesse de dépôt variable, permettant un contrôle précis de l'épaisseur et de l'uniformité des matériaux sur les substrats. Le réacteur présente également une gamme de caractéristiques multi-modes, tel qu'un système à rotation variable, permettant de traiter simultanément plusieurs substrats. En combinaison avec d'autres caractéristiques de traitement, le réacteur a la capacité de produire des structures tridimensionnelles complexes avec plusieurs couches. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura ACP est équipé d'un certain nombre de caractéristiques avancées pour assurer un contrôle précis de la vitesse de dépôt et de l'uniformité des films. Il dispose d'un système optique de projection à haute résolution, permettant un alignement et un suivi précis des paramètres de dépôt. Il dispose également d'un positionneur de buse commandable qui permet un mouvement de précision de la chambre de procédé pendant le processus de dépôt. Centura ACP est compatible avec une gamme de produits chimiques à haute performance, des silanes à l'hydrogène silsesquioxanes (HSQ). Le réacteur est capable de traiter une grande variété de matériaux, y compris des matériaux de résistance, des adhésifs pour films et des métaux, ainsi que des dispositifs de silicium et de MEMS. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura ACP est conçu en tenant compte des exigences environnementales, garantissant de faibles niveaux de particules, tout en fournissant des résultats élevés et performants. Il est conçu pour l'évolutivité et fonctionne avec d'autres équipements, tels que les systèmes par lots et les systèmes en boucle fermée. La conception et les caractéristiques modulaires d'AMAT Centura ACP lui permettent de fournir des résultats cohérents et de haut calibre pour des applications avancées d'emballage de semi-conducteurs. Sa gamme de fonctionnalités multi-modes le rend idéal pour les opérations de haute production et les processus personnalisés. Avec ses capacités avancées pour un contrôle précis et des résultats à haut rendement, APPLIED MATERIALS Centura ACP est un choix idéal pour tout emballage semi-conducteur avancé.
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