Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II Polysilicon #9208337 à vendre en France
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ID: 9208337
Taille de la plaquette: 12"
Polysilicon etcher, 12"
Wafer Size:
Diameter:
300 +/- 0.05mm
775 +/- 25um
Notch
Carrier: FOUP
With SEMI E47.1 (25 Wafers)
Water leak detector
Regulated N2 gas supply line
Corrosion resistant FI & SWLL
Heated SWLL
With ceramic diffusers
Transfer chamber: Accelerator
Loadlock isolation / Slit valve: AP Chemraz 513 elastomer
Atmospheric robot: KAWASAKI Single fixed robot with Edgegrip
(3) Loadports
Loadport type: Enhanced 25 wafer FOUP
(3) Light towers
EMO Type: Turn to release
System monitor:
Flat panel: Monitor 1
With keyboard on stand
Monitor cable lengths: 25ft With 16ft effective
IPUP Type: ALCATEL A100L / TOYOTA 0395-11103
Supporting remote units:
Etch common AC rack (DPS II): Cutler hammer blue AC rack
(19) Kits for AC rack
Chillers (DPS II): (2) H2000 & (4) SMC496
Coolant: DIEG / Galden
Chiller hose length: 75 Feet
Hardware configuration:
Process chamber: 1 - 4
DPS-II With AGN
Chamber hardware assy: MS411037-XA-BMA1A (24 Kit assemblies)
Endpoint type (Eye D IEP)
Plasma state monitor
ESC Type: ESC, ASSY, DPS2
Single ring:
Ceramic single ring
With (12) pockets
TMP SHIMADZU 3400l: TMP 3000 l/s, BOC EDWARDS
Upper chamber liner
Lower chamber liner
Inner SV door
Tunable gas nozzlez:
With ceramic weldment
RF Generator: 3 kW / 13.56 MHz, DPS2 1 Bottom
RF Generator: 1.5 kW / 13.56 MHz, DS2 2 Bottom
Bias match: DPS2
Source match: DPS2
O-ring kit for process express: KALREZ 8085
ESR80WN: EABARA
Gas box configuration:
Gas line 1: Cl2 100 sccm GF125
Gas line 2: HCl 200 sccm GF125
Gas line 3: HBr 600 sccm AE-PN780CBA
Gas line 4: SiF4 200 sccm GF125
Gas line 5: N2 200 sccm GF125
Gas line 6: O2 200 sccm GF125
Gas line 7: O2/He 50 sccm GF125
Gas line 8: SF6 200 sccm GF125
Gas line 9: SF6 50 sccm GF125
Gas line 10: CF4 200 sccm GF125
Gas line 11: CHF3 200 sccm GF125
Gas line 12: Ar 400 sccm GF125
Gas panel: Standard
Process kit configuration: Consumables
Gas weldment O-ring: 250 rf Hours
Swap parts
Missing parts:
Qty / Description / P/N
(1) / View window / 0200-36461
(1) / 10 torr Gauge / 135-00013
(1) / Ion gauge / 3310-0006
(1) / Bias match / 0190-03009
(1) / HV / 0090-00865
(1) / Foreline gauge / 1350-01232
(1) / Ion gauge ISO valve / 3870-00021
(1) / Monochrometer EPD / 0010-05478
(1) / Slit door irons / 0020-64587
(1) / Slit door bellow / 0040-76767
(1) / NA Heated weldment tee KF 40 warranty / 0190-23502
(1) / Heated weldment 7.09 KF 40 R warranty / 0190-23503
(1) / Ion gauge ISO valve / 3870-00021
(1) / Ion gauge / 3310-00006
(1) / Heated weldment 7.09 kf 40 r warranty / 0190-23503
(1) / Ion gauge ISO valve / 3870-00021
(1) / Ion gauge / 3310-00006
(1) / Bias match / 0190-03009
(1) / Foreline gauge / 1350-01232
(1) / HV / 0090-00865
(1) / MF Robot driver / 0190-17853
(3) / E84 Cables
(2) / Special gas pipes
Qty / Chamber / Description
(1) / CHA / Pressure switch 10 torr
(1) / CHB / Check valve
(1) / CHB / Pressure switch 10 torr
(1) / CHC / Pressure switch 10 torr
(1) / CHC / Check valve
(1) / CHC / View port window.
AMAT/APPLIED MATERIALS Le réacteur en silicium polycristallin Centura AP DPS II est un équipement de production avancé conçu pour produire du silicium polycristallin de haute pureté pour l'industrie des semi-conducteurs. Ce système sophistiqué utilise trois procédés distincts - dopage au plasma d'argon (APD), couche flottante de charge (CFL) et implantation de silicium (SI) - pour atteindre un niveau optimal de pureté dans le silicium polycristallin produit. Le procédé APD utilise la technologie de dopage au plasma d'argon, qui introduit des dopants à l'arsenic ou au phosphore à la surface de la plaque de silicium polycristallin, permettant des changements de conductivité et un contrôle précis des propriétés électroniques du matériau. Le processus CFL utilise une couche de charge flottante (FCL) pour réguler le mouvement des dopants, offrant une souplesse dans la sélection des dopants et un meilleur contrôle des processus. Enfin, le procédé SI utilise un procédé d'implantation ionique pour introduire une surface de substrat unique dans une plaque de silicium polycristallin, ce qui permet un contrôle précis de ses propriétés électriques et améliore la qualité de la plaque. AMAT Centura AP DPS II Réacteur en silicium polycristallin est conçu pour permettre une approche à haute vitesse, multi-chambre pour produire du silicium polycristallin, permettant un traitement simultané jusqu'à six pleine taille toutes les heures. Cela le rend idéal pour des besoins de production à grande échelle. Grâce à sa capacité de personnalisation, les utilisateurs peuvent configurer l'unité pour créer une variété de spécifications de sortie, telles que les concentrations de porteuse cultivées, le recuit thermique rapide (RTA) et le dépôt de silicium polycristallin. Cela permet d'accélérer davantage les délais de traitement. La machine est intégrée avec six composants clés : 1) un outil de distribution de gaz ; 2) un actif sous vide ; 3) un modèle de contrôle de la contamination ; 4) une chambre de processus ; 5) une unité électronique et 6) un équipement de micro-laminage. Le système de distribution de gaz garantit que tous les gaz et dopants nécessaires sont fournis de manière sûre et efficace. L'unité de vide élimine les contaminants volatils de l'environnement et contrôle la pression de la machine. L'outil de contrôle de la contamination comprend une technologie avancée de lavage pour purifier l'environnement avant et après chaque procédure. La chambre de procédé est conçue pour maintenir les substances aux niveaux de température et de pression requis, ainsi que pour fournir un environnement vraiment propre. L'unité électronique surveille et enregistre toutes les opérations d'actifs, ainsi que fournir une variété de caractéristiques de contrôle de modèle. Enfin, l'équipement de microlamination permet un dépôt et un contrôle précis des matériaux. En résumé, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur en silicium polycristallin Centura AP DPS II est un système de production avancé pour l'industrie des semi-conducteurs. Il utilise trois procédés distincts - dopage au plasma d'argon (APD), couche flottante de charge (CFL) et implantation de silicium (SI) - pour atteindre un niveau optimal de pureté du silicium polycristallin produit. L'unité est capable de produire jusqu'à six wafers pleine taille par heure, et peut être personnalisée pour une variété de spécifications de wafer. La machine est en outre intégrée avec six composants clés - un outil de distribution de gaz, un actif sous vide, un modèle de contrôle de la contamination, une chambre de traitement, une unité électronique et un équipement de micro-laminage - pour atteindre les plus hauts niveaux de qualité et d'efficacité.
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