Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP eMax CT #9371704 à vendre en France
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Vendu
ID: 9371704
Taille de la plaquette: 12"
Dielectric etcher, 12"
Process: Cu
Wafer type: Notch
Carrier: FOUP
(3) Load ports
(4) Chambers
TDK Corrosion resistant loader module
Alcatel IPUP
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Facility plate:
N2 Regulator
Manual valve
Pressure gauge
Loadlock pressure monitor:
Gauge convectron: 1MTORR-1000TORR 1 / 4FVCR DNET
Transfer pressure monitor:
Gauge convectron: 1MTORR-1000TORR 1 / 4FVCR DNET
5 SLM N2 MFC
Signal towers:
Kit
4 Lights
Devicenet light tower
Cable:
Monitor cable, 15 feet / 50 feet
Pump cable, 75 feet
Monitors:
Monitor 1: Flat panel with keyboard
Monitor 2: Remote flat panel
Chamber configuration:
Process kits: Qt / Si
Gas inject: 3.5 Anodized SGD
Chamber O-Ring: Chamraz 513
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1600M Turbo pump
RF Match: DAIHEN
RF Generator: ENI GHW 50
EPD Windows: Quick remove released quartz
CM Test port: 1/2 VCR and KF25 Dual
RGA Port: RGA port
Endpoint type: H.O.T Endpoint
Endpoint wavelength 1: CO 484 NM
Endpoint wavelength 2: CN 387 NM
Cathode temperature monitor
ESC Power supply: CT HV
RF Feed: Direct CT Cathode
Dry pump: EABARA-ESR80WN
Wall chiller: SMC-H2010
Cathode chiller: SMC-INR 496-003D
Coolant: HT110
ESC type: ESC, Assembly, 12" , Dual electrode, IA
Liner: CT Liner
Process gas box configuration:
Chamber A:
Gas name / MFC Type size
NF3 / FC-PN980CR1BA-100
CH3F / FC-PN980CR1BA-50
CH2F2 / FC-PN980CR1BA-50
O2 2000 / FC-PN980CR1BA-2000
O2 50 / FC-PN980CR1BA-50
O2 20 / FC-PN980CR1BA-20
N2 / FC-PN980CR1BA-200
CHF3 / FC-PN980CR1BA-200
CF4 / FC-PN980CR1BA-200
AR 300 / FC-DN780C-BA-300
Chamber B:
Gas name / MFC Type size
C4F6 / FC-PN980CR1BA-150
C4F8 / FC-PN980CR1BA-50
CO / FC-PN980CR1BA-500
CH2F2 / FC-PN980CR1BA-50
O2 2000 / FC-PN980CR1BA-2000
O2 50 / FC-PN980CR1BA-50
N2 / FC-PN980CR1BA-200
CHF3 / FC-PN980CR1BA-200
CF4 / FC-DN780C-BA-200
AR 300 / FC-DN780C-BA-300
Chamber C:
Gas name / MFC Type size
C4F6 / FC-PN980CR1BA-150
CH2F2 / FC-PN980CR1BA-50
O2 2000 / FC-PN980CR1BA-2000
O2 50 / FC-PN980CR1BA-50
O2 20 / FC-PN980CR1BA-20
N2 / FC-PN980CR1BA-200
CHF3 / FC-PN980CR1BA-200
CF4 / FC-DN780C-BA-200
AR 200 / FC-PN980CR1BA-200
AR 1500 / FC-PN980CR1BA-1500
Chamber D:
Gas name / MFC Type size
C4F6 / FC-PN980CR1BA-150
CH2F2 / FC-PN980CR1BA-50
O2 2000 / FC-PN980CR1BA-2000
O2 50 / FC-PN980CR1BA-50
N2 / FC-PN980CR1BA-200
CHF3 / FC-PN980CR1BA-200
CF4 / FC-PN980CR1BA-200
AR 200 / FC-PN980CR1BA-200
AR 1500 / FC-PN980CR1BA-1500.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura AP eMax CT est un réacteur spécialisé conçu pour le traitement des résines photosensibles. Ce réacteur de traitement thermique ultra-rapide est un outil de pointe conçu pour permettre aux utilisateurs de bénéficier de cycles de gravure plus rapides, de contrôles de température précis et de mesures thermiques précises. L'équipement de refroidissement de l'eau du robinet d'AMAT Centura AP eMax CT permet une propagation thermique minimale à l'intérieur de la chambre de gravure chimique, assurant ainsi un contrôle de haute précision de la température des plaquettes lors de la gravure. Avec l'aide d'un système avancé de contrôle de la rétroaction en boucle fermée, les utilisateurs sont en mesure de maintenir des températures uniformes et de traiter les durées exactement comme prescrit. Cela garantit que les plaquettes ne sont pas exposées à des fluctuations inattendues de température qui pourraient causer des dommages thermiques aux matériaux sensibles qu'elles traitent. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura AP eMax CT est également équipé d'une source excimère pulsée avancée qui réduit les gaz nocifs et minimise la génération de sous-produits indésirables. Cette fonctionnalité permet de s'assurer que le processus de gravure reste cohérent et prévisible. La source dispose également d'un flux d'air unidirectionnel et d'une unité de transfert rapide des plaquettes pour aider à minimiser le nombre de particules et réduire les temps d'arrêt liés au nettoyage. En plus de ses capacités technologiques avancées, Centura AP eMax CT est également conçu pour répondre aux normes de sécurité les plus élevées. Sa robuste machine de surveillance de sécurité est capable de surveiller en permanence le processus de gravure et de détecter la présence de fuites dangereuses. Cela permet d'assurer un fonctionnement sûr et fiable du réacteur. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura AP eMax CT est un réacteur de gravure avancé qui fournit aux utilisateurs un contrôle fiable et de haute précision de leurs cycles de gravure. Ses puissantes caractéristiques aident à minimiser la propagation thermique et à réduire les dégazages et le nombre de particules. Son outil de surveillance de la sécurité assure une surveillance continue de la gravure et permet aux utilisateurs de profiter d'une solution de gravure photorésist fiable, sûre et efficace.
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