Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima X #9253668 à vendre en France
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Vendu
ID: 9253668
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2013
HDP CVD System, 12"
Chamber A, B & C:
Chamber type: Ultima X HDP CVD
Gas configuration (sccm): MFC full scale
Gas / sccm
O2 / 1000
NF3 / 100
HE / 600
SiH4 / 300
H2 / 1000
AR / 1000
SiH4 / 50
HE / 400
AR / 100
NF3 / 3000
AR / 3000
RF Source: 1.8 - 2.17 MHz, 10000W (Max)
RF Bias: 13.56 MHz, 9500W (Max)
RF RPS: 400 kHz, 6000W (Max)
2013 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura AP Ultima X est un réacteur à plateaux conçu pour la fabrication, le dépôt, la gravure et l'ingénierie de dispositifs avancés de circuits intégrés. Il dispose d'une plaque de quartz ULTE (Ultra Low Thermal Expansion) suspendue au-dessus de la chambre de procédé et d'une chambre de pression sub-atmosphérique avec régulation de température réglable allant de -60 ° C à + 150 ° C Ses capacités de gestion thermique assurent l'uniformité de température et la répétabilité des processus, qui sont essentielles pour un environnement de production robuste. Le réacteur Ultima X utilise de multiples procédés, notamment la pulvérisation, la gravure par plasma, l'évaporation du carbone, le dépôt chimique en phase vapeur (MOCVD), le dépôt par couche atomique (ALD) et diverses autres techniques de dépôt. Cela lui permet de s'adapter à la fabrication de technologies à base de semi-conducteurs de pointe telles que le silicium sur isolant (TRI/SOI) et les dispositifs FinFET/III-V. Il est également équipé d'un module de compatibilité automatisé des outils pour fournir une plate-forme unifiée sur plusieurs ensembles d'outils. Le réacteur Ultima X est largement utilisé en raison de sa capacité à générer des débits de processus élevés et de faibles densités de défauts. Ses multiples cellules de procédé sont équipées d'un écran de confinement de plasma imbriqué automatisé qui empêche le plasma d'entrer dans les chambres voisines, ce qui entraîne un contrôle supérieur de la contamination. Les cages réutilisables qui maintiennent les pièces à l'intérieur de la chambre fournissent un contrôle de mouvement de précision pour le chargement et le déchargement précis des lots assurant une manutention rapide des plaquettes et la technologie des servomoteurs assure un traitement fiable. L'Ultima X dispose également de systèmes de sécurité contrôlés par ordinateur et de gestion intelligente de l'énergie qui permettent aux opérateurs de maximiser l'utilisation des ressources tout en minimisant les coûts énergétiques. Ultima X est le leader de l'industrie dans la fourniture de couches avancées d'intégration pour les dépôts multi-vues et les flux de gravure sèche. Son architecture brevetée d'automatisation et de contrôle offre une répétabilité, une précision et des rendements supérieurs pour la production d'appareils. En outre, sa conception thermique et son système d'exploitation ultra silencieux en font un choix idéal pour les applications de fabrication à haut volume. Dans l'ensemble, AMAT Centura AP Ultima X est un réacteur efficace, fiable et à haute productivité qui continue à fournir une avancée critique pour l'industrie des semi-conducteurs.
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