Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima X #9303196 à vendre en France

AMAT/AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura AP Ultima X est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) qui permet de traiter avec des recettes flexibles, exécutant plusieurs procédés dans la même enceinte. Le réacteur est conçu pour la fabrication de dispositifs dans un large éventail de conditions, avec des caractéristiques qui permettent un traitement fiable des processus avancés. C'est un réacteur économe en énergie qui peut être utilisé pour des applications telles que l'isolation de tranchées peu profondes (STI), diélectrique inter-couches (ILD), diélectrique de grille, métallique, high-k, etc., ainsi que la gravure de champ factice. Il offre une excellente stabilité de traitement en utilisant un flux de gaz uniforme, non uniforme et mixte. Le réacteur AMAT Centura AP Ultima X est un équipement monobloc qui utilise un générateur automatique de recettes permettant à l'utilisateur d'ajuster rapidement les paramètres en fonction des différentes exigences du processus. Le système de gaz de l'unité est conçu pour une flexibilité maximale, permettant le changement, le mélange et la navette des gaz. Le réacteur opère avec Freon-13 et réfrigérants situés à otherFreon, en tenant compte d'une gamme de paramètres de température. Le réacteur dispose également d'un module de visualisation qui fournit des informations de processus en temps réel au fur et à mesure de l'exécution des recettes. Le réacteur est doté d'une combinaison de systèmes de livraison chimique et d'automatisation, permettant un contrôle thermique supérieur lors des dépôts de couche atomique (ALD) et des processus CVD. Le réacteur a une caractéristique qui s'ajuste automatiquement en fonction de la température avant de commencer le processus. Cela garantit la répétabilité de l'exécution à l'exécution et élimine l'intervention manuelle, ce qui entraîne un meilleur contrôle du processus. La température ambiante du réacteur Centura AP Ultima X est réglable jusqu'à un maximum de 800 ° C Par ailleurs, le réacteur comporte également une machine de régulation de température qui maintient la température dans la chambre de procédé pour une croissance constante du film sur les plaquettes. MATÉRIAUX APPLIQUÉS/Centura AP Ultima X est un réactif complet, économe en énergie et performant qui convient parfaitement pour des travaux avancés de développement de processus. Son haut degré d'automatisation, son excellent contrôle thermique et sa flexibilité le rendent excellent pour la production de dispositifs à haut rendement et à coût raisonnable.