Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DLH #9093317 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura DLH Series est un équipement sous vide pour le traitement des plaquettes à haute température. C'est un système avancé offrant un fonctionnement fiable et efficace dans un design compact et convivial. Il est conçu pour être utilisé avec une variété de tailles de plaquettes, telles que 200mm, 300mm, et des plaquettes de grand diamètre. L'unité dispose d'une capacité à haute température allant jusqu'à 1100 ° C, offrant la gamme pour les applications de processus haute performance. Le réacteur AMAT Centura DLH Series combine de fortes performances thermiques et une excellente stabilité de la machine grâce à sa conception et sa configuration uniques. La conception intégrée du réacteur comprend un mini-chauffage tubulaire de faible masse thermique avec un tube/élément en quartz intégré pour le traitement thermique rapide (RTP). La conception mini-tubulaire et l'isolation siliciure favorisent une excellente réponse thermique, permettant une précision de température supérieure et des fenêtres de processus serrées. L'élément de chauffage DLH est également très efficace, offrant une puissance d'entrée élevée et des vitesses de chauffage rapides. En outre, l'outil dispose d'un contrôle de puissance robuste et discret, permettant un contrôle précis du processus. L'unité intégrée de contrôle des processus (PCU) fournit une automatisation précise pour des améliorations rapides des processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura DLH Series offre une gamme de caractéristiques de sécurité avancées. Un contrôle d'intégrité vérifie l'état de performance de chaque actif avant le traitement de la plaquette. De plus, les dispositifs de sécurité, les thermocouples et la surveillance de la pression d'entrée protègent et contrôlent les performances thermiques pour une sécurité exceptionnelle. Enfin, une variété d'options, telles que la commande automatique de pression, la commande PID améliorée et les tubes d'entrée en quartz, peuvent être utilisées pour améliorer encore les performances du modèle. Dans l'ensemble, Centura DLH Series Reactor est un équipement puissant, efficace et sûr pour le traitement des plaquettes à haute température. Il dispose d'excellentes performances thermiques avec des fenêtres de processus serrées et un contrôle de processus robuste. Sa conception compacte offre des économies d'espace et un fonctionnement convivial. Enfin, ses caractéristiques de sécurité offrent une sécurité et une confiance sans précédent dans les performances du système.