Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DLH #9093319 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DLH est un réacteur destiné au traitement des plaquettes dans une installation de fabrication de semi-conducteurs. Ce réacteur a une chambre de procédé d'une capacité d'environ 200 mm de diamètre et 200 mm de hauteur, et utilise de l'hélium pour refroidir et fournir une basse pression ambiante à l'intérieur de la chambre. Le réacteur assure également un fonctionnement sous ultra-vide et peut fonctionner entre les pressions de base jusqu'à 10-7 Torr. AMAT Centura DLH est conçu pour fournir aux ingénieurs et techniciens une large gamme d'options et de capacités pour le traitement des plaquettes de silicium. Cela inclut des capacités de débit élevées, un contrôle précis de la température, de la livraison de gaz et de la pression avec la capacité de fonctionnement dans un large éventail de conditions de processus. Le réacteur permet le traitement des plaquettes à des températures allant jusqu'à 1200 ° C et peut être utilisé pour le dépôt métallique, le dépôt diélectrique, le recuit et la gravure. Pour le dépôt métallique, le réacteur est capable de déposer de l'aluminium, du cuivre et du titane avec une excellente homogénéité. De plus, le réacteur offre une excellente homogénéité pour les dépôts diélectriques tels que les oxydes et les nitrures ainsi que la résine et le silicium polycristallin. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura DLH utilise une chicane refroidie et une buse directionnelle pour assurer un écoulement uniforme dans la chambre de procédé. Ceci assure une vitesse de dépôt uniforme sur la surface de la plaquette et contribue également à éliminer les particules et autres contaminants de la chambre. Le réacteur comprend également une gamme de fonctionnalités avancées telles que le contrôle de l'uniformité, le contrôle de la température des plaquettes, l'optimisation des procédés et le contrôle en temps réel. Ces fonctionnalités permettent aux utilisateurs d'optimiser leurs processus pour un meilleur débit et un meilleur rendement. En outre, le réacteur Centura DLH est conçu pour la réactivation rapide et le nettoyage de la chambre de processus pendant la maintenance et les temps d'arrêt. Cela réduit les temps d'arrêt et augmente la productivité pour votre traitement des plaquettes de silicium. Globalement, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DLH est un réacteur fiable et efficace pour divers procédés liés à la fabrication de plaquettes de silicium. Avec une large gamme de fonctionnalités et de capacités avancées, ce réacteur est conçu pour offrir aux utilisateurs la flexibilité et les performances nécessaires pour obtenir des résultats de haute qualité.