Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9188283 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Le Centura DPS G5 MESA est un réacteur semi-conducteur utilisé dans la fabrication de circuits intégrés. Il s'agit d'un système monobloc multi-gaz à plasma parallèle Etch/Deposition principalement utilisé dans le développement des derniers dispositifs à haute performance. Ce réacteur présente un haut degré d'automatisation, une meilleure stabilité et des caractéristiques de sécurité améliorées. Ce réacteur comprend un système de manutention des plaquettes chaudes et de multiples gaz de procédé qui peuvent être utilisés pour graver ou déposer des couches métalliques ou des oxydes à la surface de la plaquette. La possibilité d'utiliser de multiples gaz permet un large éventail de possibilités de traitement, telles que contrôler la croissance des siliciures métalliques, permettre l'oxydation des substrats, provoquer un recuit plus important des zones métalliques, etc... Le système de manutention monobloc permet une grande maîtrise de la position de la chambre, telle que l'inclinaison, l'angle et la focalisation, ce qui est essentiel pour une épaisseur et une uniformité uniformes des couches. Les capacités de traitement avancées de ce réacteur permettent le rendement le plus élevé du processus de fabrication des plaquettes. AMAT Centura DPS G5 MESA est conçu avec une chambre de processus contrôlée par la température, qui assure une répartition uniforme de la température avec un haut degré de stabilité. Ceci assure le maintien de la chambre à la température souhaitée pour tout le cycle du procédé. De plus, la chambre comporte un entrefer à commande automatique, une paire d'électrodes d'émetteur et une alimentation RF à fréquence variable. Ce réacteur dispose également d'un contrôleur multi-paramètres intégré à lecture directe à microprocesseur avec la capacité de stocker jusqu'à 2000 recettes, entre autres. Ces caractéristiques, combinées aux faibles coûts de fonctionnement du réacteur, à l'excellente uniformité thermique et à la faible dérive thermique, à la fiabilité de la mission et à la facilité d'entretien font des matériaux appliqués Centura DPS G5 MESA le choix privilégié pour une large gamme de procédés de fabrication.