Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9383826 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA (Metal Etch Selective Area) est une plate-forme de réacteur très avancée et polyvalente conçue pour les procédés avancés de gravure et de dépôt. Ce réacteur, qui fait partie de la cinquième génération de systèmes AMAT Centura DPS, offre des avantages de performance significatifs et fiables par rapport aux réacteurs de génération antérieure. Le réacteur AMAT Centura DPS G5 MESA est construit sur une grande bouteille, ce qui permet un large flux de processus et une flexibilité des équipements polyvalents. Ce réacteur est également équipé d'une variété d'entrées et de sorties de gaz et de fluide qui permettent une variété de configurations adaptées à diverses exigences de processus. Le réacteur dispose également d'une conception modulaire avec des chambres séparées pour différentes étapes de processus, ainsi que des modules de processus qui peuvent être configurés pour fonctionner avec des configurations de plaquettes avant ou latérales. La conception du réacteur comprend également un système de contrôle avancé et facile à utiliser, qui permet de nombreux niveaux d'automatisation et est livré avec une variété d'outils de surveillance et de journalisation des processus. L'interface conviviale permet également de surveiller et de suivre facilement les paramètres des unités critiques afin d'assurer des processus toujours fiables et reproductibles. Le réacteur dispose d'une source de plasma ultra-haute basse énergie, ainsi que de larges niveaux de puissance de refoulement RF, lui permettant de délivrer des temps de traitement beaucoup plus rapides que les autres systèmes de sa classe. De plus, la source de plasma à haute performance du réacteur lui permet de traiter les processus les plus exigeants, tels que ceux impliquant des photorésistants à haute température. Le réacteur est également équipé de plusieurs systèmes de détection finale de processus performants, dont la machine de détection des émissions plasmatiques (PED) standard de l'industrie, la détection du courant de Foucault (ECD) et l'outil de détection optique des émissions à haute sensibilité (OED). Ces systèmes de détection de point d'extrémité permettent de détecter quand une étape du processus est terminée et de prévenir la variation du processus ou la génération de défauts. Enfin, MATÉRIAUX APPLIQUÉS La famille de réacteurs Centura DPS G5 MESA comprend également une gamme d'options de support et de maintenance, telles que les services de génération et d'optimisation de recettes de procédé, l'analyse et le dépannage d'experts sur place, et les programmes de garantie et de service étendus. Le réacteur respecte également les normes de sécurité les plus élevées de l'industrie en ce qui concerne l'exploitation et la maintenance, ainsi que l'assurance de la qualité et la conformité.