Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9383830 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura DPS G5 MESA est un équipement de traitement semi-conducteur de pointe conçu pour les applications avancées de dépôt. Il s'agit d'un réacteur modulaire doté d'une gamme de technologies qui lui permettent d'être adapté aux besoins spécifiques d'un large éventail de flux de processus. Le système est basé sur la technologie de source de plasma brevetée AMAT MESA, qui combine une puissance élevée, une grande fiabilité et un faible coût. Le réacteur AMAT Centura DPS G5 MESA utilise une architecture multi-sources pour fournir une source de plasma vraiment discrète. Il s'agit d'une machine à double zone avec deux chambres séparées, l'une pour la chambre de génération de plasma et la seconde pour la chambre de substrat. La chambre de plasma abrite deux plasmas de source principale indépendants conçus pour s'assurer que l'énergie ionique, la densité du plasma et d'autres paramètres plasmatiques sont optimisés pour l'application spécifique. Il comporte également des conduites de gaz interchangeables, permettant l'introduction de gaz réactifs et non réactifs au besoin. La chambre est construite en acier inoxydable pour être étanche aux gaz, avec un soufflet sous pression et un orifice d'évent pour permettre un entretien facile et l'ajout de gaz. La chambre de substrat abrite soit un ou deux modules de procédé indépendants, selon la configuration de l'outil, qui sont alimentés par la chambre à plasma. Sa conception modulaire permet de remplacer ou de reconfigurer facilement les modules pour une variété de procédés de dépôt. En outre, la chambre dispose d'un obturateur double face qui peut être utilisé pour maintenir un environnement sans contamination ou pour optimiser la résolution temporelle de la température du substrat. La chambre du substrat dispose également d'un outil de surveillance in situ des cristaux de quartz pour la surveillance des flux gazeux et d'autres paramètres de processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Centura DPS G5 MESA est un modèle fiable et rentable pour les applications avancées de dépôt. Sa conception modulaire et sa technologie de pointe permettent des niveaux sans précédent de flexibilité de processus, permettant une grande variété de processus physiquement et chimiquement différents à exécuter sur une seule plate-forme. En outre, son faible coût de fonctionnement et son temps de cycle rapide le rendent idéal pour répondre au besoin croissant de petits dispositifs à facteurs de forme.